[实用新型]一种用于工业生产中制备超硬薄膜的离子源装置无效
| 申请号： | 01247041.4 | 申请日： | 2001-09-14 |
| 公开（公告）号： | CN2496878Y | 公开（公告）日： | 2002-06-26 |
| 发明（设计）人： | 赵玉清 | 申请（专利权）人： | 陕西百纳科技发展有限责任公司 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32 |
| 代理公司： | 西安新思维专利事务所有限公司 | 代理人： | 徐平 |
| 地址： | 710061 *** | 国省代码： | 陕西;61 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种用于工业生产中制备超硬薄膜的离子源装置,包括离子发生器和离子引出装置,离子发生器包括离子原及产生电离作用的阴极和阳极,阴极和阳极外部分别设置有水冷装置,阴极表面为阴极靶面,阳极为筒状放电室,离子引出装置包括设置于放电室顶部的引出栅极。本实用新型电离效率高,离子可控制,所形成膜的均匀性和致密性高、附着力强。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 工业生产 制备 薄膜 离子源 装置 | ||
【主权项】：
1、一种用于工业生产中制备超硬薄膜的离子源装置，包括离子发生器和离子引出装置，所述离子发生器包括离子原及产生电离作用的阴极(14)和阳极(4)，所述阴极(14)和阳极(4)外部分别设置有水冷装置(16)和(3)，其特征在于：所述阴极(14)表面为阴极靶面(12)，所述阳极为筒状放电室(9)，所述离子引出装置包括设置于放电室(9)顶部的引出栅极(2)。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于陕西百纳科技发展有限责任公司，未经陕西百纳科技发展有限责任公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/01247041.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：声表面波器件的陶瓷封装外壳
- 下一篇：电动刷牙机
- 同类专利
- 专利分类
