[发明专利]高速、高灵敏度的谐振腔增强型光电探测器的实现方法有效
| 申请号： | 01139734.9 | 申请日： | 2001-11-27 |
| 公开（公告）号： | CN1348271A | 公开（公告）日： | 2002-05-08 |
| 发明（设计）人： | 任晓敏;黄辉;黄永清;王琦 | 申请（专利权）人： | 北京邮电大学 |
| 主分类号： | H04B10/12 | 分类号： | H04B10/12;H04B10/02 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 朱黎光,张占榜 |
| 地址： | 100876 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种高速、高灵敏度的谐振腔增强型(RCE)光电探测器的制备方法。本发明其特征在于它通过离子注入造成器件部分电极绝缘,使得导电区域呈现梳状或网孔状的微结构,降低了探测器的固有电容。本发明涉及的方法解除了RCE光电探测器的光耦合效率与响应速率之间互相制约的矛盾,势将对今后光波与光电子器件的发展产生重要而深远的影响。 | ||
| 搜索关键词： | 高速 灵敏度 谐振腔 增强 光电 探测器 实现 方法 | ||
【主权项】：
1、一种高速、高灵敏度的谐振腔增强型光电探测器的实现方法，在半导体衬底上，外延生长顶镜、电极层、本征隔离层、本征吸收层，其特征在于：电极层采用离子注入使得器件部分电极绝缘，降低探测器的固有电容。
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