[发明专利]制作高温超导滤波器接触电极的方法在审
| 申请号： | 01129621.6 | 申请日： | 2001-06-25 |
| 公开（公告）号： | CN1394110A | 公开（公告）日： | 2003-01-29 |
| 发明（设计）人： | 赵永钢;朱美红;王玉梅;曹必松;刘涛;李天博 | 申请（专利权）人： | 北京中数威利超导技术有限公司 |
| 主分类号： | H05K3/00 | 分类号： | H05K3/00;H05K3/06;H01L23/48 |
| 代理公司： | 北京清亦华专利事务所 | 代理人： | 廖元秋 |
| 地址： | 100016 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明属于高温超导滤波器制作领域，包括将超导片固定在平板上；在其外缘的平板上贴上双面胶；依据滤波器图形裁出相应的锡箔条；先后沿馈线方向及其垂直方向贴上锡箔条，直到完全覆盖接触电极图形以外的其它部分。然后在超导片镀上金属膜后去掉所贴锡箔；最后将其放入通氧的石英管中退火；得到需要的金属接触电极。本发明可省去蚀刻的烦琐步骤，避免损害超导膜或金属层；制作接触电极的灵活度大，可为后续外引线的接入提供清洁表面。 | ||
| 搜索关键词： | 制作 高温 超导 滤波器 接触 电极 方法 | ||
【主权项】：
1、一种制作高温超导滤波器接触电极的方法，其特征在于，包括以下步骤：(1)将刻有滤波器图形的超导片固定在比超导片面积稍大一些的平板上；(2)在超导片四周外缘的平板上贴上双面胶；(3)依据所说的超导片的尺寸以及所设计的滤波器图形裁出相应的多条锡箔条；(4)在超导片上先沿馈线方向贴上锡箔条，并调整锡箔条之间的间隙为接触电极的宽度；再沿垂直于馈线方向贴锡箔条，直到所贴锡箔条完全覆盖接触电极图形以外的其它部分。(5)将完成步骤(4)后的超导片镀上金属膜，然后去掉所贴锡箔；(6)最后将完成步骤(5)后的超导片放入通氧的石英管中退火，而后炉冷至室温；得到需要的金属接触电极。
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