[发明专利]制作高温超导滤波器接触电极的方法

说明书

本发明属于微波通信技术领域，特别涉及高温超导滤波器制作技术。

以往文献中公开的制作超导滤波器接触电极一般有两种方法：剥离法(liftoffprocess)或者用金属沉积然后蚀刻的方法。前一种方法是在高温超导电路上涂上一层光刻胶，然后用光刻的方法定出接点图形和接点位置，去掉光刻胶，再在上面沉积金或银，最后用一些溶剂去掉光刻胶涂层及它上面的金或银，就形成所需要的金属接触电极。后一种方法是金或银金属层直接沉积在高温超导膜的上面，然后蚀刻处理去掉多余的金属层。这两种方法都要进行蚀刻处理，步骤烦琐，难于控制，容易对超导膜或金属层造成损害。

本发明的目的是为克服已有技术的不足，提出一种制作高温超导滤波器接触电极的新方法，可省去蚀刻的烦琐步骤，避免损害超导膜或金属层；保证在高温超导滤波器接触电极的制作过程有足够大的灵活度，并为后续外引线的接入提供清洁表面。

本发明提出的一种制作高温超导滤波器接触电极的方法，其特征在于，包括以下步骤：

(1)将刻有滤波器图形的超导片固定在比超导片面积稍大一些的平板上；

(2)在超导片四周外缘的平板上贴上双面胶；

(3)依据所说的超导片的尺寸以及所设计的滤波器图形裁出相应的几条锡箔条：

(4)在超导片上先沿馈线方向贴上锡箔条，并调整锡箔条之间的间隙为接触电极

   的宽度；再沿垂直于馈线方向贴锡箔条，直到所贴锡箔条完全覆盖接触电

   极图形以外的其它部分。

(5)将完成步骤(4)后的超导片镀上金属膜，然后去掉所贴锡箔。

(6)最后将完成步骤(5)后的超导片放入通氧的石英管中退火，而后炉冷至室温；

   得到需要的金属接触电极。

本发明的效果：本方法简单可行，灵活度大，容易控制，不致于损伤超导薄膜或金属膜表面，可为高温超导电路与外电路的连接提供清洁表面。

本发明还适用于在其它氧化物薄膜上制作电极。

附图简要说明：

图1为本发明的示意图。

本发明的一种制作高温超导滤波器接触电极的方法的实施例(设计的接触电极图形宽约0.2mm，长约1.5mm)，结合图1所示，其制作步骤如下：

(1)将刻有滤波器图形的25×25mm超导片2固定在30×30mm的玻璃板1上；

(2)在超导片外缘的玻璃平板上分别贴上5×25mm的双面胶3；

(3)分别裁出约15×32mm、12×32mm及3×32的锡箔各两条，在显微镜下将15×32mm的锡箔条4的一端沿馈线方向固定在完成步骤(2)的超导片上，调整并固定另一边，直到于馈线边缘对齐为止；然后再贴垂直于馈线的12×32mm的锡箔条5，同样要在显微镜对准，留出宽约0.2mm，长约1.5mm的接触电极6；

(4)将完成步骤(3)的超导片放入真空室，用磁控溅射的方法镀厚度约

1μm的银膜，最后去掉所贴锡箔；

(5)将完成步骤(4)的超导片在通氧的石英管中400℃退火，保温1小时，而后炉冷至室温，得到银膜与超导膜接触电阻为6×10^-8Ω·cm²的接触电极。