[发明专利]静电致动器机构、其驱动方法、和使用其的摄像机模块

摘要

在规定方向依次排列的第一～第三定子电极22A～22C组设置在第一定子22A上。面电极26D设置在第二定子2B上。在所述第一定子22A和第二定子22B之间配置一边以规定方向振动一边行进的滑子3,该滑子3具有多个滑子电极30A和一个第二滑子电极30D。上述滑子电极30A和30D维持接地电位,在第一～第三定子电极22A～22C上一个接一个地周期性施加第一驱动电压,在第一和第二滑子电极30A、30D上施加驱动电压。第一和第二驱动电压是在接地电位和正的驱动电压之间彼此反相位周期性地切换的电压,所以滑子3在第一和第二定子3A、3B之间一边振动一边向规定方向前进。

主权项

1.一种静电致动器机构，其特征是，具有：第一定子，备有第一电极组，其由以不同顺序施加电压的至少3个电极在规定方向依次排列而构成；第二定子，与该第一定子相对设置，备有在所述规定方向延伸设置的平面状第二电极；滑子，配置在所述第一定子和所述第二定子之间，备有与所述第一电极组相对置的第一电极部以及与所述第二电极相对置的第二电极部；开关电路，在该第一电极组和该第二电极上交替地施加电压，同时依次切换施加在该第一电极组上的电压的顺序，使所述第一电极组的任一电极的电位高于所述第一电极部的电位，或使所述第二电极的电位高于所述第二电极部的电位。