[发明专利]静电致动器机构、其驱动方法、和使用其的摄像机模块

权利要求书

1.一种静电致动器机构，其特征是，具有：

第一定子，备有第一电极组，其由以不同顺序施加电压的至少3个电极在规定方向依次排列而构成；

第二定子，与该第一定子相对设置，备有在所述规定方向延伸设置的平面状第二电极；

滑子，配置在所述第一定子和所述第二定子之间，备有与所述第一电极组相对置的第一电极部以及与所述第二电极相对置的第二电极部；

开关电路，在该第一电极组和该第二电极上交替地施加电压，同时依次切换施加在该第一电极组上的电压的顺序，使所述第一电极组的任一电极的电位高于所述第一电极部的电位，或使所述第二电极的电位高于所述第二电极部的电位。

2.根据权利要求1所述的机构，其特征是，在所述开关电路在所述第一电极组上施加电压时，至少在所述规定方向相邻的两个电极同时施加电压。

3.根据权利要求1所述的机构，其特征是，在所述滑子上设置的所述第一电极部的沿所述规定方向的宽度是所述第一电极组的各电极的沿该规定方向的宽度的1.5倍～到2.5倍。

4.根据权利要求1所述的机构，其特征是，进一步备有设置成覆盖所述第一电极组的介质膜。

5.根据权利要求4所述的机构，其特征是，进一步备有提供电位差的装置，使在所述第二电极上施加电压时，所述第一电极组的电位比所述第一电极部的电位低。

6.根据权利要求1所述的机构，其特征是，其特征是，进一步备有设置成覆盖所述第一电极部的介质膜。

7.根据权利要求6所述的机构，其特征是，进一步备有提供电位差的装置，在所述第二电极上施加电压时，使所述第一电极组的电位成为比所述第一电极部的电位低的电位。

8.根据权利要求1所述的机构，其特征是，所述第一和第二电极部实质上是接地电位。

9.根据权利要求1所述的机构，其特征是，所述滑子备有与所述滑子一起被驱动的光学元件。

10.根据权利要求1所述的机构，其特征是，所述第一和第二定子备有比所述第一电极组和第二电极表面突出的止动件，滑子备有用于使所述止动件在设置了所述第一和第二电极部的表面上滑动的区域。

11.根据权利要求1所述的机构，其特征是，所述滑子备有比所述第一和第二电极部表面突出的止动件，所述第一和第二定子备有用于使所述止动件在设置了所述第一电极组和第二电极的表面上滑动的区域。

12.根据权利要求1所述的机构，其特征是，所述第一电极组的以不同顺序施加电压的3个电极按所述规定方向依次排列。

13.根据权利要求1所述的机构，其特征是，所述第一电极组的以不同顺序施加电压的4个电极按所述规定方向依次排列。

14.一种静电致动器机构的驱动方法，该静电致动器机构具有：

第一定子，备有第一电极组，其由以不同顺序施加电压的至少3个电极在规定方向依次排列而构成；

第二定子，与该第一定子相对设置，备有在所述规定方向延伸设置的平面状第二电极；

滑子，配置在所述第一定子和所述第二定子之间，备有与所述第一电极组相对置的第一电极部以及与所述第二电极相对置的第二电极部；

其特征是：

施加电压，使所述第一电极组的任一电极的电位高于所述第一电极部的电位；

施加电压，使所述第二电极的电位高于所述第二电极部的电位；切换所述第一电极组的电极，施加电压，使所述电极的电位高于所述第一电极部的电位；

施加电压，使所述第二电极的电位高于所述第二电极部的电位；反复进行所述各电压的施加。

15.根据权利要求14所述的方法，其特征是，在所述第一电极组上施加电压时，至少在所述规定方向相邻的2个电极上同时施加电压。

16.根据权利要求14所述的方法，其特征是，在所述第二电极上施加电压时，提供电位差，使所述第一电极组的电位成为比所述第一电极部的电位低的电位。