[发明专利]化学惰性的兆赫声波换能器系统无效
申请号: | 00812107.9 | 申请日: | 2000-08-25 |
公开(公告)号: | CN1371531A | 公开(公告)日: | 2002-09-25 |
发明(设计)人: | M·J·贝克;R·B·韦内贝克 | 申请(专利权)人: | 产品系统公司 |
主分类号: | H01L41/08 | 分类号: | H01L41/08 |
代理公司: | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人: | 程伟,彭益群 |
地址: | 美国加利*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 一种兆赫声波清洗系统,包括一个容器,一个谐振器,一个压电晶体(130)和一个用于将该谐振器连接于该压电晶体的铟层(138)。该容器包括一个用于保存一定体积清洗溶液的液体室。该谐振器选自蓝宝石、石英、碳化硅、氮化硅和陶瓷。该谐振器构成该容器的底部并具有一个与液体室邻接的界面表面。 | ||
搜索关键词: | 化学 惰性 兆赫 声波 换能器 系统 | ||
【主权项】:
1.一种兆赫声波清洗系统,包括:一个容器,它具有一个保存一定体积清洗溶液的液体室;一个谐振器,选自蓝宝石、石英、碳化硅、氮化硅和陶瓷,该谐振器具有一个邻接液体室的界面表面,当清洗溶液的体积存在于该液体室时该界面表面与至少一定量的清洗溶液接触;一个压电晶体,当电源施加给该压电晶体时用于产生频率范围为0.4~2.0Mhz的声能;一个由铟构成的结合层,设置在该谐振器和该压电晶体之间,用于将该压电晶体连接于能量传输件。
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