[发明专利]表面等离子体振子谐振传感器

摘要

本发明提供一种表面等离子体振子谐振(SPR)传感器,该传感器包括由平面传感器芯片单元的横向集成阵列构成的传感器芯片和由平面光学换能器单元的横向集成阵列构成的光学换能器。通过间隙将可更换的传感器芯片与光学换能器间隔开,并且在传感器芯片和光学换能器之间采用垂直的光学互连。将聚焦和准直的光学元件和感测面积集成在相同的传感器芯片上,而在传感器芯片和光学换能器之间的光学互连是基于垂直与界面地入射的准直的光束。聚焦的光学元件包括在顶部表面上的反射衍射光学元件和在传感器芯片单元的后部表面上的可选的平面镜的组合。

主权项

1.一种表面等离子体振子谐振传感器，包括第一单元和第二单元，所说的第一和第二单元是可分离的，并且其中所说的第一单元包括：-第一壳体，-适合于支撑表面等离子体振子的导电材料膜，所说的膜由第一壳体的第一外部表面部分保持着，-设置在该第一壳体的第二外部表面部分上以从第二单元接收光束的光学输入装置，-设置在该第一壳体的第三外部表面部分上以将光束发送到第二单元的光学输出装置，-第一组光学元件，该第一组光学元件适合于将从第一单元所接收的光束集中到该导电膜，-第二组光学元件，该第二组光学元件适合于将来自导电膜的光束集中到该光学输出装置以将来自导电膜的光学光束传输到第二单元，其中所说的第二单元包括：-第二壳体，-发射光束的装置，-适合于制备所发射的光束的第一组光学元件，-设置在第二壳体的第一外部表面上以将所制备的光束发射到第一单元的光学输出装置，-设置在该第二壳体的第二外部表面部分上以从第一单元接收光束的光学输入装置，-适合于检测从第一单元所接收的光束的检测装置，-适合于将从第一单元所接收的光束集中到检测装置的第二组光学元件，其中在光学输入和光学输出装置的位置上的光束的传播方向基本垂直于第一和第二壳体的外部表面部分以避免在所说的光束进入第一和第二单元时该光束的折射。