[发明专利]表面等离子体振子谐振传感器

权利要求书

1.一种表面等离子体振子谐振传感器，包括第一单元和第二单元，所说的第一和第二单元是可分离的，并且其中所说的第一单元包括：

-第一壳体，

-适合于支撑表面等离子体振子的导电材料膜，所说的膜由第一壳体的第一外部表面部分保持着，

-设置在该第一壳体的第二外部表面部分上以从第二单元接收光束的光学输入装置，

-设置在该第一壳体的第三外部表面部分上以将光束发送到第二单元的光学输出装置，

-第一组光学元件，该第一组光学元件适合于将从第一单元所接收的光束集中到该导电膜，

-第二组光学元件，该第二组光学元件适合于将来自导电膜的光束集中到该光学输出装置以将来自导电膜的光学光束传输到第二单元，

其中所说的第二单元包括：

-第二壳体，

-发射光束的装置，

-适合于制备所发射的光束的第一组光学元件，

-设置在第二壳体的第一外部表面上以将所制备的光束发射到第一单元的光学输出装置，

-设置在该第二壳体的第二外部表面部分上以从第一单元接收光束的光学输入装置，

-适合于检测从第一单元所接收的光束的检测装置，

-适合于将从第一单元所接收的光束集中到检测装置的第二组光学元件，

其中在光学输入和光学输出装置的位置上的光束的传播方向基本垂直于第一和第二壳体的外部表面部分以避免在所说的光束进入第一和第二单元时该光束的折射。

2.根据权利要求1所述的表面等离子体振子谐振传感器，其中发射装置包括激光源，比如半导体激光二极管。

3.根据权利要求1所述的表面等离子体振子谐振传感器，其中发射装置包括发射基本单一波长的光的光源。

4.根据权利要求1所述的表面等离子体振子谐振传感器，其中发射装置包括发射许多波长的光的光源，比如光发射二极管。

5.根据前述任一权利要求所述的表面等离子体振子谐振传感器，其中第二单元的第一组光学元件包括对所发射的光束进行准直的装置。

6.根据权利要求5所述的表面等离子体振子谐振传感器，其中第二单元的第一组光学元件进一步包括对所发射的光束进行偏振的装置。

7.根据前述任一权利要求所述的表面等离子体振子谐振传感器，其中第一和第二单元的输入和输出装置包括抗反射涂层。

8.根据前述任一权利要求所述的表面等离子体振子谐振传感器，其中检测装置包括光敏元件阵列，比如多光电检测器阵列、电荷耦合器件或互补金属氧化物半导体图像传感器。

9.根据前述任一权利要求所述的表面等离子体振子谐振传感器，进一步包括光屏蔽部件。

10.根据前述任一权利要求所述的表面等离子体振子谐振传感器，其中第一单元的第一组光学元件包括衍射部件比如衍射光栅或全息光栅，所说的衍射部件适合于将经准直的光束转换为聚焦的光束。

11.根据前述任一权利要求所述的表面等离子体振子谐振传感器，其中第一单元的第二组光学元件包括衍射部件比如衍射光栅或全息光栅，所说的衍射部件适合于将发散的光束转换为准直的光束。

12.根据权利要求1-9中任一权利要求所述的表面等离子体振子谐振传感器，其中第一单元的第一组光学元件包括反射部件比如衍射光栅或全息光栅，所说的反射部件适合于将经准直的光束转换为聚焦的光束。

13.根据权利要求1-9中任一权利要求所述的表面等离子体振子谐振传感器，其中第一单元的第二组光学元件包括反射部件比如衍射光栅或全息光栅，所说的反射部件适合于将发散的光束转换为准直的光束。

14.根据权利要求1-9中任一权利要求所述的表面等离子体振子谐振传感器，其中第二组光学元件包括反射部件比如反射镜。

15.根据前述任一权利要求所述的表面等离子体振子谐振传感器，其中导电膜为金属膜，比如金膜、银膜、铝膜或钛膜。

16.根据权利要求15所述的表面等离子体振子谐振传感器，其中导电膜包括许多导电膜，所说的许多导电膜以横向延伸的模式设置。