[发明专利]一种对准光纤的结构无效
申请号: | 00804045.1 | 申请日: | 2000-02-18 |
公开(公告)号: | CN1341226A | 公开(公告)日: | 2002-03-20 |
发明(设计)人: | C·维埃德;J·霍尔姆 | 申请(专利权)人: | 艾利森电话股份有限公司 |
主分类号: | G02B6/42 | 分类号: | G02B6/42 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人: | 章社杲 |
地址: | 瑞典斯*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明涉及一种用于被动地定位至少一个放在基片上的光纤和至少一个光学元件的方法。基片上有一埋入的腐蚀阻挡层。然后在基片上蚀刻一些U型槽图案,槽的深度与覆盖埋入的腐蚀阻挡层的材料厚度一致,槽在基片上的位置对准光学元件。光纤布置并固定在U型槽内。本发明还涉及用所述方法生产的器件。 | ||
搜索关键词: | 一种 对准 光纤 结构 | ||
【主权项】:
1.一种用于被动地定位至少一个放在基片上的光纤和至少一个光学元件的方法,其特征在于,所述方法包括以下步骤:对一个具有埋入的腐蚀阻挡层的基片进行图案加工;在所述基片上蚀刻出具有垂直侧壁和垂直端面的U型槽图案,所述槽的深度和覆盖埋入的腐蚀阻挡层的材料厚度一致,所述槽在基片上的位置与所述光学元件对准;将光纤布置在各个U型槽中,并将所述光纤固定在所述U型槽中。
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