[发明专利]一种对准光纤的结构

权利要求书

1.一种用于被动地定位至少一个放在基片上的光纤和至少一个光学元件的方法，其特征在于，所述方法包括以下步骤：

对一个具有埋入的腐蚀阻挡层的基片进行图案加工；

在所述基片上蚀刻出具有垂直侧壁和垂直端面的U型槽图案，所述槽的深度和覆盖埋入的腐蚀阻挡层的材料厚度一致，所述槽在基片上的位置与所述光学元件对准；

将光纤布置在各个U型槽中，并将所述光纤固定在所述U型槽中。

2.根据权利要求1中所述方法，其特征在于，将光纤的端面推向并接触到所述U型槽的垂直端面。

3.根据权利要求1中所述方法，其特征在于，在所述U型槽的端部蚀刻一个与之正交的U型槽，以存贮粘结剂。

4.根据权利要求1中所述方法，其特征在于，所述光学器件是一个激光器、检测器或收发器。

5.根据权利要求1中所述方法，其特征在于，具有所述埋入的腐蚀阻挡层的基片是一个硅绝缘体片(SOI)。

6.一种包括至少一个布置在基片上并对准至少一个光学元件的光纤的器件，其特征在于，所述光纤布置并固定在U型槽内，所述U型槽的侧壁和端面与基片表面基本上垂直，所述U型槽的底面和基片的未蚀刻表面基本上平行。

7.根据权利要求6中所述器件，其特征在于，所述光纤的端面可被移动并接触所述U型槽端部的基本垂直的端面。

8.根据权利要求6中所述器件，其特征在于，在所述U型槽端部有一个与之正交的U型槽，形成一个粘结剂存贮槽。

9.根据权利要求6中所述器件，其特征在于，所述光学器件是一个激光器、检测器或收发器。