[发明专利]电子束照射反应装置无效
| 申请号： | 00803618.7 | 申请日： | 2000-01-11 |
| 公开（公告）号： | CN1340200A | 公开（公告）日： | 2002-03-13 |
| 发明（设计）人： | 土居祥孝;野本正雄;林和昭;井筒政弘;影山喜治;冈本恭一 | 申请（专利权）人： | 株式会社荏原制作所 |
| 主分类号： | G21K5/00 | 分类号： | G21K5/00;G21K5/04;B01D53/32;B01D53/60 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 王以平 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种用于把电子束照射到待处理物体如废气上并由此改变废气物理性质的电子束照射反应装置,其中,在环绕扫描管(12)端部的部分和电子束反应器件(18)侧壁内电子束接收窗口的周缘部分(18a)之间设置挠性圆柱密闭元件(23),以便连接扫描管(12)和此侧壁并且密封此反应器件。结果,在此连接部分不产生过大的应力,而且不需要辅助金属窗口箔,待处理物体也不会泄漏到外面。 | ||
| 搜索关键词： | 电子束 照射 反应 装置 | ||
【主权项】：
1.一种电子束照射反应装置，其中包括：在扫描条件下用于释放电子束的电子束照射器件，此电子束照射器件包括设置有电子束释放窗口的端部，此电子束释放窗口具有遍布此窗口上用于维持内部真空的基本金属窗口箔；用于接收将被电子束照射的气体的电子束反应器件，此电子束反应器件包括设置有电子束接收窗口的侧壁，此电子束接收窗口用于接收来自电子束照射器件的电子束；包括吹孔的冷却气体喷嘴组件，此吹孔用于把冷却气体吹到金属窗口箔；以及在电子束照射器件端部和电子束反应器件侧壁上的电子束接收窗口周缘部分之间连接的挠性圆柱密闭元件，此挠性圆柱密闭元件用于防止冷却气体在端部和侧壁之间泄漏到外面。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于株式会社荏原制作所，未经株式会社荏原制作所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/00803618.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
