[发明专利]电子束照射反应装置

权利要求书

1.一种电子束照射反应装置，其中包括：

在扫描条件下用于释放电子束的电子束照射器件，此电子束照射器件包括设置有电子束释放窗口的端部，此电子束释放窗口具有遍布此窗口上用于维持内部真空的基本金属窗口箔；

用于接收将被电子束照射的气体的电子束反应器件，此电子束反应器件包括设置有电子束接收窗口的侧壁，此电子束接收窗口用于接收来自电子束照射器件的电子束；

包括吹孔的冷却气体喷嘴组件，此吹孔用于把冷却气体吹到金属窗口箔；以及

在电子束照射器件端部和电子束反应器件侧壁上的电子束接收窗口周缘部分之间连接的挠性圆柱密闭元件，此挠性圆柱密闭元件用于防止冷却气体在端部和侧壁之间泄漏到外面。

2.如权利要求1所述的电子束照射反应装置，其中，在电子束照射器件的端部设置冷却气体喷嘴组件，并且挠性圆柱密闭元件在冷却气体喷嘴组件的外围部分和所述侧壁上电子束接收窗口的周缘部分之间连接。

3.如权利要求2所述的电子束照射反应装置，其中，电子束接收窗口的尺寸制造得比电子束通路周缘的尺寸更大，并且作为整体的冷却气体喷嘴组件以环状形成以便环绕电子束通路，此冷却气体喷嘴组件基本上占据电子束接收窗口。

4.如权利要求3所述的电子束照射反应装置，其中，设置保护元件以便防止反向散射的电子碰撞到挠性圆柱密闭元件上，此反向散射的电子在电子束反应器件中当照射电子束时产生。

5.如权利要求4所述的电子束照射反应装置，其中，借助可去除的夹板，在电子束释放窗口的周缘以可密封的方式固定基本金属窗口箔，冷却气体喷嘴组件包括可去除部分，此可去除部分设置得在它本身和夹板之间形成冷却气体吹孔，通过移去此可去除部分和移去夹板，此金属窗口箔能被更换。

6.如权利要求1-5任一项所述的电子束照射反应装置，其中，进一步包括适于把水分以一定量输送到由冷却气体喷嘴组件吹入的冷却气体中的装置，此量使得此冷却气体的湿度变得等于或高于气体中细微粉末的临界湿度，这些细微粉末在基本金属窗口箔的与气体接触的表面上淀积。

7.如权利要求1-5任一项所述的电子束照射反应装置，其中，进一步包括用于提供冷却气体的装置，此冷却气体与水滴一起由冷却气体喷嘴组件吹入。

8.如权利要求3所述的电子束照射反应装置，其中，冷却气体喷嘴组件包括：在电子束反应器件一侧在冷却气体喷嘴组件端面上设置的辅助金属窗口箔，以便遍布电子束通路；用于把冷却气体吹到基本和辅助金属窗口箔的吹孔；以及用于把吹入的冷却气体排放到外面的排气孔。

9.如权利要求3所述的电子束照射反应装置，其中，冷却气体喷嘴组件包括：在具有窗口的电子束反应器件的一侧上设置的端面，此窗口包括遍布窗口上的辅助金属窗口箔；用于把冷却气体分别吹到基本和辅助金属窗口箔的第一和第二吹孔；用于分别从外面接收冷却气体并把气体输送到第一和第二吹孔的第一和第二接收孔；以及把从第一和第二吹孔吹到第一和第二金属窗口箔的冷却气体分别排放到外面的第一和第二排气孔。