[发明专利]导电性氮化物膜及其制备方法和防反射体无效
| 申请号： | 00803600.4 | 申请日： | 2000-02-10 |
| 公开（公告）号： | CN1340201A | 公开（公告）日： | 2002-03-13 |
| 发明（设计）人： | 藤野正美;佐藤一夫;光井彰;竹田谕司;堀江则俊 | 申请（专利权）人： | 旭硝子株式会社 |
| 主分类号： | H01B1/06 | 分类号： | H01B1/06;H01B5/14;C23C14/06;C23C14/34;G09F9/00 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所 | 代理人： | 章鸣玉 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 含Ti和/或Zr及选自Al、Si、Mo、Cr、Nb、Hf、Ni、Co、Fe、Pd、Ag、Au和Pt的一种以上金属、耐热性好的导电性氮化物膜及其制备方法,以及用该导电性氮化物膜的防反射体。 | ||
| 搜索关键词： | 导电性 氮化物 及其 制备 方法 反射 | ||
【主权项】：
1.导电性氮化物膜，包含Ti和/或Zr及选自Al、Si、Mo、Cr、Nb、Hf、Ni、Co、Fe、Pd、Ag、Au和Pt的一种以上金属。
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