[发明专利]温度补偿微型电动机械结构以及补偿环境温度变化的作用的方法无效
| 申请号： | 00800228.2 | 申请日： | 2000-02-21 |
| 公开（公告）号： | CN1304379A | 公开（公告）日： | 2001-07-18 |
| 发明（设计）人： | 爱德华·希尔;罗伯特·L·伍德;拉马斯瓦米·马哈德万 | 申请（专利权）人： | 克罗诺斯集成微系统公司 |
| 主分类号： | B81B3/00 | 分类号： | B81B3/00;H02N10/00 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 王以平 |
| 地址： | 美国北卡*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供一种补偿环境温度的变化、工艺的改变等等的MEMS结构,它可利用于许多应用中。这种结构包括一个主动微致动器(105),适合于热致动以响应其温度的主动改变而运动。主动微致动器可进一步适合于响应环境温度的变化而运动。这种结构还包括一个温度补偿元件(205),诸如一个温度补偿微致动器或一个框架,适合于响应环境温度的变化而运动。主动微致动器与温度补偿元件响应环境温度的变化而协同运动。因此,在主动微致动器温度没有主动改变的情况下,在宽范围的环境温度下主动微致动器与相关的温度补偿微致动器之间保持预定的空间关系。在一个供选的实施方案中,主动微致动器悬置在微电子衬底上的一个框架上,在主动微致动器温度没有主动改变的情况下,在宽范围的环境温度下该MEMS结构保持主动微致动器的至少一部分相对于衬底处于一个固定位置。 | ||
| 搜索关键词： | 温度 补偿 微型 电动 机械 结构 以及 环境温度 变化 作用 方法 | ||
【主权项】：
1．一种温度补偿微型电动机械结构，包括：一个具有第一主表面的微电子衬底；一个温度补偿微致动器，置于所述微电子衬底的第一主表面上并适合于热致动，所述温度补偿微致动器适合于响应环境温度的变化而运动；以及一个主动微致动器，置于所述微电子衬底的第一主表面上并适合于热致动，所述主动微致动器适合于响应环境温度的变化与所述主动微致动器的温度的主动改变的累积作用而运动，其中所述温度补偿微致动器与所述主动微致动器均适合于响应环境温度的变化而运动，从而在所述微致动器的温度没有主动改变的情况下，在一定范围的环境温度下所述温度补偿微致动器与所述主动微致动器之间基本保持预定的空间关系。
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