[发明专利]温度补偿微型电动机械结构以及补偿环境温度变化的作用的方法

权利要求书

1．一种温度补偿微型电动机械结构，包括：

一个具有第一主表面的微电子衬底；

一个温度补偿微致动器，置于所述微电子衬底的第一主表面上并适合于热致动，所述温度补偿微致动器适合于响应环境温度的变化而运动；以及

一个主动微致动器，置于所述微电子衬底的第一主表面上并适合于热致动，所述主动微致动器适合于响应环境温度的变化与所述主动微致动器的温度的主动改变的累积作用而运动，

其中所述温度补偿微致动器与所述主动微致动器均适合于响应环境温度的变化而运动，从而在所述微致动器的温度没有主动改变的情况下，在一定范围的环境温度下所述温度补偿微致动器与所述主动微致动器之间基本保持预定的空间关系。

2．根据权利要求1的温度补偿微型电动机械结构，其中所述温度补偿微致动器适合于响应环境温度的变化而在基本平行于微电子衬底的第一主表面的平面内运动，以及其中所述主动微致动器适合于响应环境温度的变化与所述主动微致动器的温度的主动改变而在基本平行于所述微电子衬底的第一主表面的平面内运动。

3．根据权利要求1的温度补偿微型电动机械结构，其中所述温度补偿微致动器包括一个适合于响应环境温度的变化而运动的第一元件，其中所述主动微致动器包括一个适合于响应环境温度的变化与所述主动微致动器的温度的主动改变而运动的第二元件，其中所述第一元件与所述第二元件响应所述微致动器的温度的改变而选择使相互接触。

4．根据权利要求3的温度补偿微型电动机械结构，其中所述温度补偿微致动器与所述主动微致动器中的至少一个进一步包括一个弹簧，当所述第一元件与所述第二元件选择地相互接触时，所述弹簧适合于挠曲并吸收机械应力。

5．根据权利要求1的温度补偿微型电动机械结构，其中所述温度补偿微致动器包括一个热拱梁致动器，所述热拱梁致动器进一步包括至少两个固定在微电子衬底的第一主表面上的固定锚，至少一个拱梁置于所述的至少两个固定锚之间，其中所述至少一个热拱梁适合于响应环境温度的变化而进一步拱起。

6．根据权利要求1的温度补偿微型电动机械结构，其中所述主动微致动器包括热拱梁致动器，所述热拱梁致动器进一步包括至少两个固定于微电子衬底的第一主表面的固定锚，至少一个拱梁置于所述的至少两个固定锚之间，其中所述至少一个热拱梁适合于响应环境温度的变化与所述主动微致动器的温度的主动改变的累积作用而进一步拱起。

7．根据权利要求1的温度补偿微型电动机械结构，其中所述主动微致动器与所述温度补偿微致动器的每一个包括一个热拱梁致动器，所述每个热拱梁致动器进一步包括至少两个固定于微电子衬底的第一主表面上的固定锚，至少一个拱梁置于所述的至少两个固定锚之间，其中每个拱梁适合于响应温度的变化而进一步拱起，以及其中所述温度补偿微致动器包括的拱梁数目多于所述主动微致动器包括的拱梁数目。

8．根据权利要求7的温度补偿微型电动机械结构，其中所述主动微致动器进一步包括一个加热器，它适合于选择地改变所述主动微致动器的温度以便可控地移动所述主动微致动器。

9．根据权利要求8的温度补偿微型电动机械结构，其中所述温度补偿微致动器与所述主动微致动器中的一个进一步包括一个适合于随所述微致动器而运动的阳电接触件，其中所述温度补偿微致动器与所述主动微致动器中的另一个进一步包括一个适合于随所述微致动器而运动的互补的阴电接触件，以及其中所述阳电接触件与所述互补的阴电接触件响应所述微致动器的温度的改变而选择地相互接触。

10．根据权利要求1的温度补偿微型电动机械结构，其中所述温度补偿微致动器进一步包括一个第一导电表面，其中所述主动微致动器进一步包括一个互补的第二导电表面，其中所述温度补偿微致动器与所述主动微致动器之间预定的空间关系确定在所述第一与所述第二导电表面之间的电容，在所述微致动器的温度没有主动改变的情况下，在一定范围的环境温度下该电容基本保持不变。

11．根据权利要求10的温度补偿微型电动机械结构，其中所述主动微致动器响应其温度的主动改变而运动以可控地改变电容值。