[实用新型]滚动转盘式超微粉表面溅射包覆纳米金属复合膜装置无效
| 申请号： | 00253420.7 | 申请日： | 2000-12-13 |
| 公开（公告）号： | CN2464483Y | 公开（公告）日： | 2001-12-12 |
| 发明（设计）人： | 华伟刚;宫骏;闻立时;孙超;肖金泉;关德慧;谭明晖;刘艳梅;裴志亮 | 申请（专利权）人： | 中国科学院金属研究所 |
| 主分类号： | B22F1/02 | 分类号： | B22F1/02;C23C14/34 |
| 代理公司： | 沈阳科苑专利代理有限责任公司 | 代理人： | 朱光林 |
| 地址： | 110015 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本装置属于一种超微粉表面纳米复合膜处理技术,其装置是上面为一转盘,下面为溅射靶面,且之间距离可调,与水平面成45度角,下面设有转轴,转轴端部装有蜗轮、蜗杆,由直流电机带动,转盘下面设有多个载料托盘。优点结构简单,制作容易,结合磁控溅射工艺,可在多种超微粉末表面溅射包覆纳米金属薄膜,解决了超微粉末易团聚、流动性差的缺点。 | ||
| 搜索关键词： | 滚动 转盘 式超微粉 表面 溅射 纳米 金属 复合 装置 | ||
【主权项】：
1.一种滚动转盘式超微粉表面溅射包覆纳米金属复合膜装置，其特征是该装置的结构是上面为一转盘(1)，转盘下面为溅射靶面(2)，两平面平行且之间距离可调、转速可调，转盘与水平面成45度角，转盘中心垂直装有转轴(6)，转轴下端装有蜗轮(7)，蜗轮与下面的减速器机、蜗杆(4)连接，蜗杆端装有直流调速电机，在转盘的边缘设有多个载料托盘(3)，整个装置以一立柱支架固定在某一个底座上。
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