[实用新型]滚动转盘式超微粉表面溅射包覆纳米金属复合膜装置

说明书

本实用新型属于一种超微粉表面纳米复合膜处理技术。

目前，对纳米金属复合膜的处理，通常采用的是比较落后的方法和装置，最简单的方法就是将超微粉放在一个震动筛上，用筛子震动将超微粉表面溅射生成包覆纳米复合膜，也有采用分子筛震动的方法，超微粉从分子筛自由落下这种溅射装置包覆纳米复合膜，以上处理装置不足之处是超微粉表面溅射不均匀，浪费原材料，另外复合膜厚度达不到要求。

为解决以上装置的不足，本实用新型的目的提供一种滚动转盘式超微粉表面溅射包覆纳米金属复合膜装置，利用圆盘滚动以达到超微粉表面溅射形成纳米金属复合膜，以达到表面均匀、厚度可任意控制的目的。

本实用新型的结构设计是这样实现的：该装置的结构是上面为一转盘，转盘下面为溅射靶面，两平面平行且之间距离可调、转速可调，转盘与水平面成45度角，转盘中心垂直装有转轴，转轴下端装有蜗轮，蜗轮与下面的减速器机、蜗杆连接，蜗杆端装有直流调速电机，在转盘的边缘设有多个载料托盘，为15～30个，整个装置以一立柱支架固定在某一个底座上(如图1所示)。

本实用新型的优点：结构简单，制作容易，结合磁控溅射工艺，可在多种超微粉末表面溅射包覆纳米金属薄膜，解决了超微粉末易团聚、流动性差的缺点。

本实用新型详细结构及工作原理由以下实施例及附图给出。

图1为滚动转盘式超微粉表面溅射包覆纳米金属复合膜装置结构原理图。

图2为滚动转盘式超微粉表面溅射包覆纳米金属复合膜装置转盘结构图。

图3为滚动转盘式超微粉表面溅射包覆纳米金属复合膜装置转盘侧投影图。

其结构如图1所示，1为转盘，2为溅射靶面，3为载料托盘，4为电机蜗杆，5为转盘挡板，6为主轴，7为蜗轮。

工作过程：

转盘转动时载料托板带动盘内粉末由下至上运动，粉末到达上部后沿倾斜的盘面均匀滚落，使粉末的表面暴露在溅射气氛中，与转盘正对的靶面溅射出的金属粒子便可均匀沉积在微粉表面。由于转盘不停地转动，可使微粉表面均匀连续镀膜，直至完成粉末的均匀包覆。