[实用新型]晶体生长炉无效
| 申请号： | 00253332.4 | 申请日： | 2000-12-05 |
| 公开（公告）号： | CN2475743Y | 公开（公告）日： | 2002-02-06 |
| 发明（设计）人： | 江晓平;张革;车帮全;陈辉 | 申请（专利权）人： | 沈阳科晶设备制造有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00 |
| 代理公司： | 辽宁科技专利事务所 | 代理人： | 宋铁军 |
| 地址： | 110167 辽宁省沈阳高*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本实用新型属于一种直拉法生产各种氧化物人工晶体的专用设备。其特征在于炉体为圆筒形立式双层夹套结构，中间有冷却水；籽晶杆通过柔性带、减速轮组与电机联接；手动机构通过传动杆、同步带与滚珠丝杠联接。本实用新型的目的在于提供一种晶体生长炉，其目的在于解决以往的晶体生长炉在无法准确方便地调整籽晶杆在炉内的位置、晶转电机经常在低转速状态下运行，电流较大，炉体加工制造复杂等方面存在的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 晶体生长 | ||
【主权项】：
1、一种晶体生长炉，包括有炉体(5)及与炉体(5)连接的真空装置(7)，坩埚升降装置中的手动机构(8)与丝杠(9)连接，丝杠(9)与真空室(10)连接，真空室(10)连接在导柱(11)上，真空室(10)通过下导套(12)与炉体(5)连接，下导套(12)与炉体(5)之间由下密封(13)密封；电动提拉装置中的谐波减速器(1)与滚珠丝杠(3)连接，滚珠丝杠(3)设置在滚珠滑道(4)上，滑块(2)与籽晶杆(20)连接，滚珠丝杠(3)与滑块(2)连接，其特征在于：炉体(5)为圆筒形立式双层夹套结构，中间有冷却水；籽晶杆(20)与柔性带(23)连接，柔性带(23)设置在减速轮组(24)上，减速轮组(24)与电机(22)联接：手动机构(19)与传动杆(21)连接，传动杆(21)与同步带(26)连接，同步带(26)与滚珠丝杠(3)联接。
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