[实用新型]晶体生长炉

权利要求书

1、一种晶体生长炉，包括有炉体(5)及与炉体(5)连接的真空装置(7)，坩埚升降装置中的手动机构(8)与丝杠(9)连接，丝杠(9)与真空室(10)连接，真空室(10)连接在导柱(11)上，真空室(10)通过下导套(12)与炉体(5)连接，下导套(12)与炉体(5)之间由下密封(13)密封；电动提拉装置中的谐波减速器(1)与滚珠丝杠(3)连接，滚珠丝杠(3)设置在滚珠滑道(4)上，滑块(2)与籽晶杆(20)连接，滚珠丝杠(3)与滑块(2)连接，其特征在于：炉体(5)为圆筒形立式双层夹套结构，中间有冷却水；籽晶杆(20)与柔性带(23)连接，柔性带(23)设置在减速轮组(24)上，减速轮组(24)与电机(22)联接：手动机构(19)与传动杆(21)连接，传动杆(21)与同步带(26)连接，同步带(26)与滚珠丝杠(3)联接。

2、根据权利要求1所述的晶体生长炉，其特征在于：炉体(5)的一侧为双层玻璃的观察窗(17)的侧开式炉门(16)，中间有冷却水。

3、根据权利要求1所述的晶体生长炉，其特征在于：减速轮组(24)固定在滑块(2)上。