[实用新型]一种厚膜三轴向传感器

摘要

一种厚膜三轴向传感器,包括其敏感元件和与其电连接的X、Y、Z轴向桥路,敏感元件部分包括外边缘的固支结构、陶瓷圆膜片、小瓷环和质量块。在改变敏感元件设计时,敏感元件和X、Y、Z轴向桥路组合成的E型膜片。厚膜力敏电阻的温度特性和桥路设计可消除三轴向之间的机械耦合,对调整传感器输出和频率响应十分灵活。

主权项

1、一种厚膜三轴向传感器，包括其敏感元件和与其电连接的X、Y、Z轴向桥路，其特征在于：所述的敏感元件被置于陶瓷圆膜片(2)上，其中X轴向桥路的的敏感元件与Y轴向桥路的敏感元件相互垂直设置，Z轴向桥路的敏感元件与X轴向或Y轴向的敏感元件呈45度设置，且X轴向、Y轴向、Z轴向桥路中的敏感元件为等间距设置；所述的与其电连接的X、Y、Z轴向桥路连接是：对应于X、Y轴向桥路的电阻R2、R3和R1、R4组成全桥，桥压加在R1、R2和R4、R3的连接点上，R2、R3和R1、R4的连接点引出输出信号，对应于Z轴向桥路的电阻R1、R3和R2、R4组成全桥，桥压加在R1、R2和R3、R4的连接点上，R1、R3和R2、R4引出输出信号；陶瓷圆膜片外边缘的固支结构[1]，由上下两个环状瓷件组成，陶瓷圆膜片[2]置于上下两个环状瓷件之中，小瓷环[3]为空心圆柱置于陶瓷圆膜片[2]的中心部位，在空心圆柱的小瓷环[3]下面旋有质量块[4]，形成横截面为E型的陶瓷圆膜片。