[实用新型]一种厚膜三轴向传感器无效
| 申请号： | 00219996.3 | 申请日： | 2000-04-13 |
| 公开（公告）号： | CN2420615Y | 公开（公告）日： | 2001-02-21 |
| 发明（设计）人： | 戈瑜;倪礼宾;马军;王英先;申飞;虞承端;吴仲诚 | 申请（专利权）人： | 中国科学院合肥智能机械研究所 |
| 主分类号： | G01D5/16 | 分类号： | G01D5/16;G01P15/12 |
| 代理公司： | 中国科学院合肥专利事务所 | 代理人： | 赵晓薇 |
| 地址： | 230031 安徽*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 厚膜三 轴向 传感器 | ||
【权利要求书】：
1、一种厚膜三轴向传感器，包括其敏感元件和与其电连接的X、Y、Z轴向桥路，其特征在于：所述的敏感元件被置于陶瓷圆膜片(2)上，其中X轴向桥路的的敏感元件与Y轴向桥路的敏感元件相互垂直设置，Z轴向桥路的敏感元件与X轴向或Y轴向的敏感元件呈45度设置，且X轴向、Y轴向、Z轴向桥路中的敏感元件为等间距设置；
所述的与其电连接的X、Y、Z轴向桥路连接是：对应于X、Y轴向桥路的电阻R2、R3和R1、R4组成全桥，桥压加在R1、R2和R4、R3的连接点上，R2、R3和R1、R4的连接点引出输出信号，对应于Z轴向桥路的电阻R1、R3和R2、R4组成全桥，桥压加在R1、R2和R3、R4的连接点上，R1、R3和R2、R4引出输出信号；
陶瓷圆膜片外边缘的固支结构[1]，由上下两个环状瓷件组成，陶瓷圆膜片[2]置于上下两个环状瓷件之中，小瓷环[3]为空心圆柱置于陶瓷圆膜片[2]的中心部位，在空心圆柱的小瓷环[3]下面旋有质量块[4]，形成横截面为E型的陶瓷圆膜片。
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