[实用新型]桥形薄膜电极多元红外探测器无效
| 申请号： | 00218711.6 | 申请日： | 2000-08-07 |
| 公开（公告）号： | CN2441127Y | 公开（公告）日： | 2001-08-01 |
| 发明（设计）人： | 张勤耀 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海技术物理研究所 |
| 主分类号： | G01J1/42 | 分类号： | G01J1/42;H01L31/09 |
| 代理公司： | 上海华东专利事务所 | 代理人： | 郭英 |
| 地址： | 20008*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种桥形薄膜电极多元红外探测器,包括衬底,与衬底牢固结合的碲镉汞外延薄膜材料P型和N型构成的P—N结,在光敏元信号引出端置上铟层。另外,用一有机薄膜,在其一表面镀上金属薄膜,光刻成条状金属薄膜引线,作引出电极,利用倒焊互联技术,使其与光敏元电学连接。本实用新型可用于碲镉汞MBE、LPE等薄膜材料制备的多元红外探测器的正照射工作方式的电极引出。其优点在于电极引出过程对探测器光敏元的影响小,寄生电容小,且无需特殊制备延伸电极。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜 电极 多元 红外探测器 | ||
【主权项】：
1．一种桥型薄膜电极多元红外探测器包括：衬底(1)，与衬底(1)牢固结合的外延薄膜材料P型层(2)和N型层(3)构成的P-N结(4)和信号输入模块(7)，其特征在于：a．在N型层(3)光敏元信号引出端置有铟层(5)，P型层(2)公共端置有铟层(6)；在输入模块(7)的输入端置有铟层(8)；b．桥形薄膜电极(9)的一端铟层(12)与铟层(5)，铟层(6)一一对应电学连接；桥形薄膜电极(9)的另一端铟层(13)与铟层(8)一一对应电学连接，桥形薄膜电极(9)和基板(14)之间置有填料；c．所说的桥形薄膜电极(9)是由有机薄膜衬底(10)上蒸涂金属薄膜，光刻成条状金属薄膜引线(11)，在条状金属薄膜引线的二端置有铟层(12)组成。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院上海技术物理研究所，未经中国科学院上海技术物理研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/00218711.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：可具有三色的工具握把成型结构
- 下一篇：后漏式婴儿睡袋
