[实用新型]桥形薄膜电极多元红外探测器无效

专利信息
申请号: 00218711.6 申请日: 2000-08-07
公开(公告)号: CN2441127Y 公开(公告)日: 2001-08-01
发明(设计)人: 张勤耀 申请(专利权)人: 中国科学院上海技术物理研究所
主分类号: G01J1/42 分类号: G01J1/42;H01L31/09
代理公司: 上海华东专利事务所 代理人: 郭英
地址: 20008*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 薄膜 电极 多元 红外探测器
【权利要求书】:

1.一种桥型薄膜电极多元红外探测器包括:衬底(1),与衬底(1)牢固结合的外延薄膜材料P型层(2)和N型层(3)构成的P-N结(4)和信号输入模块(7),

其特征在于:

a.在N型层(3)光敏元信号引出端置有铟层(5),P型层(2)公共端置有铟层(6);在输入模块(7)的输入端置有铟层(8);

b.桥形薄膜电极(9)的一端铟层(12)与铟层(5),铟层(6)一一对应电学连接;桥形薄膜电极(9)的另一端铟层(13)与铟层(8)一一对应电学连接,桥形薄膜电极(9)和基板(14)之间置有填料;

c.所说的桥形薄膜电极(9)是由有机薄膜衬底(10)上蒸涂金属薄膜,光刻成条状金属薄膜引线(11),在条状金属薄膜引线的二端置有铟层(12)组成。

2.根据权利要求1所说的一种桥型薄膜电极多元红外探测器,其特征在于:所说的衬底(1)为半导体材料,如砷化镓或碲锌镉。

3.根据权利要求1所说的一种桥型薄膜电极多元红外探测器,其特征在于:所说的P-N结(4)为对红外辐射敏感的碲镉汞材料。

4.根据权利要求1所说的一种桥型薄膜电极多元红外探测器,其特征在于:所说的信号输入模块(7)为读出电路或过渡板。

5.根据权利要求1所说的一种桥型薄膜电极多元红外探测器,其特征在于:所说的填料(15)为低温环氧胶。

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