[实用新型]真空磁控溅射泡沫金属化机无效
| 申请号： | 00212809.8 | 申请日： | 2000-08-01 |
| 公开（公告）号： | CN2431289Y | 公开（公告）日： | 2001-05-23 |
| 发明（设计）人： | 马国栋 | 申请（专利权）人： | 长春信息技术发展有限责任公司 |
| 主分类号： | C23C14/12 | 分类号： | C23C14/12 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 130051 吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种往泡沫塑料上涂覆镍的真空磁控溅射机,它是由真空室和置于真空室里的送、卷料辊、溅射靶及变速传动机构组成。泡沫塑料带从送料辊上匀速的卷绕至卷料辊上的过程中被均匀的溅射涂覆上镍粒子,为制造泡沫镍完成其前序工艺,采用该机生产的泡沫镍纯度高、物理性能好,是制造镍氢电池的优良极板材料。该机成功的解决了泡沫镍生产的工艺难题。 | ||
| 搜索关键词： | 真空 磁控溅射 泡沫 金属化 | ||
【主权项】：
1、一种真空磁控溅射泡沫金属化机，由真空室、溅射靶、卷、送料辊、主电机组成，其特征在于：a.在与主电机(7)相连接的主轴(16)上和卷、送料轴(15)、(14)上分别装有卷、送料变速轮副(20)、(19)，在与调速电机(8)、(9)相连接的卷、送料变速丝杠(17)、(18)上分别装置卷、送料联动拨叉(23)、(22)，拨叉(23)、(22)分别与卷、送料变速轮副(20)、(19)相咬合，卷、送料变速轮副(20)、(19)通过宽带(21)将卷、送料轴(15)、(14)分别与主轴(16)连接成同步变速传动机构。b.在真空室(1)里的送料辊(4)下方设置平衡监测装置，通过电流信号导线(31)与调速电机(8)、(9)相连接。
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