[实用新型]真空磁控溅射泡沫金属化机

权利要求书

1、一种真空磁控溅射泡沫金属化机，由真空室、溅射靶、卷、送料辊、主电机组成，其特征在于：

a.在与主电机(7)相连接的主轴(16)上和卷、送料轴(15)、(14)上分别装有卷、送料变速轮副(20)、(19)，在与调速电机(8)、(9)相连接的卷、送料变速丝杠(17)、(18)上分别装置卷、送料联动拨叉(23)、(22)，拨叉(23)、(22)分别与卷、送料变速轮副(20)、(19)相咬合，卷、送料变速轮副(20)、(19)通过宽带(21)将卷、送料轴(15)、(14)分别与主轴(16)连接成同步变速传动机构。

b.在真空室(1)里的送料辊(4)下方设置平衡监测装置，通过电流信号导线(31)与调速电机(8)、(9)相连接。

2、根据权利要求1所述的一种真空磁控溅射泡沫金属化机，其特征在于所述的卷、送料变速轮副(20)、(19)的每个轮均由一个与轴固定的固定轮片和一个与轴相对滑动的滑动轮片所组成。

3、根据权利要求1、2所述的一种真空磁控溅射泡沫金属化机，其特征在于所述的卷、送料联动拨叉(23)、(22)是双向的，一端与卷、送料轴(15)、(14)上的滑动轮片相咬合，另一端与主轴(16)上的滑动轮片相咬合。

4、根据权利要求1所述的一种真空磁控溅射泡沫金属化机，其特征在于所述的平衡监测装置是由平衡架(26)和装置其上的导向张紧轮(30)、平衡架齿轮(29)、平衡辊(43)及电位器齿轮(27)、电位器(28)、电流信号导线(31)所组成，平衡架齿轮(29)与电位器齿轮(27)相啮合，其轴绞接在支架上，电位器(28)安装在电位器齿轮(27)上，电位器(28)通过电流信号导线(31)与调速电机(8)、(9)相连接。

5、根据权利要求1所述的一种真空磁控溅射泡沫金属化机，其特征在于所述的溅射靶(10)的冷却水管(41)上装置有偏心连杆往复机构(38)。

6、根据权利要求1、5所述的一种真空磁控溅射泡沫金属化机，其特征在于所述的溅射靶(10)里的磁芯是由半园的磁铁(34)和半园的电木托(40)组成，磁铁(34)和电木托(40)藉燕尾和燕尾槽配合套装在水冷却管(41)上。