[发明专利]波前传感器及用它的透镜检查仪和主动反射式光学望远镜无效
申请号: | 00137757.4 | 申请日: | 2000-12-28 |
公开(公告)号: | CN1301954A | 公开(公告)日: | 2001-07-04 |
发明(设计)人: | 柳英一;藤野诚 | 申请(专利权)人: | 株式会社拓普康 |
主分类号: | G01D5/26 | 分类号: | G01D5/26;G01M11/02;G02B23/02 |
代理公司: | 上海专利商标事务所 | 代理人: | 钱慰民 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 一种波前传感器包括多个透镜和一个面传感器。诸透镜位于同一平面上,并都包括多个焦距不同的同心区。面传感器用于接收经每个透镜会聚成光点的一束光,并且基本上位于第一位置和第二位置之间的一半距离,其中第一位置是平面波穿过同心区中焦距最小区域后成像的位置,第二位置是平面波穿过焦距最大区域后成像的位置。利用此波前传感器,无论入射光束的波前形状如何,总能高精度测量,并没有明显的模糊光点。 | ||
搜索关键词: | 传感器 透镜 检查 主动 反射 光学 望远镜 | ||
【主权项】:
1.一种波前传感器,它包括:多个透镜,它们位于同一平面上;和面传感器,它接收经每个所述透镜会聚成光点的一束光,其中波前传感器根据光点在所述面传感器上的位置测量入射到所述透镜上的光束的波前形状,其特征在于,每个所述透镜都包括多个焦距不同的同心区,并且所述面传感器基本上位于第一位置和第二位置之间的一半距离,其中第一位置是在平面波穿过所述同心区中焦距最小的区域后成像的位置,而第二位置是在平面波穿过焦距最大的另一区域后成像的位置。
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