[发明专利]波前传感器及用它的透镜检查仪和主动反射式光学望远镜

权利要求书

1．一种波前传感器，它包括：

多个透镜，它们位于同一平面上；和

面传感器，它接收经每个所述透镜会聚成光点的一束光，其中波前传感器根据光点在所述面传感器上的位置测量入射到所述透镜上的光束的波前形状，其特征在于，

每个所述透镜都包括多个焦距不同的同心区，并且所述面传感器基本上位于第一位置和第二位置之间的一半距离，其中第一位置是在平面波穿过所述同心区中焦距最小的区域后成像的位置，而第二位置是在平面波穿过焦距最大的另一区域后成像的位置。

2．如权利要求1所述的波前传感器，其特征在于，所述多个同心区的各自焦距从每个所述透镜的中心部分向周边部分作阶跃型变化。

3．如权利要求1所述的波前传感器，其特征在于，所述多个同心区的各自焦距从每个所述透镜的中心部分向周边部分作连续变化。

4．如权利要求2所述的波前传感器，其特征在于，每个所述透镜的中心部分具有最大焦距，而每个所述透镜的周边部分具有最小焦距。

5．如权利要求3所述的波前传感器，其特征在于，每个所述透镜的中心部分具有最大焦距，而每个所述透镜的周边部分具有最小焦距。

6．如权利要求1至5中任何一项所述的波前传感器，其特征在于，每个所述透镜都包含一衍射光学元件。

7．一种透镜检测仪，其特征在于，它使用如权利要求1至6中任何一项所述的波前传感器。

8．一种主动反射式光学望远镜，其特征在于，它使用如权利要求1至6中任何一项所述的波前传感器。