[发明专利]高温氧化物晶体的退火装置

摘要

一种高温氧化物晶体的退火装置，主要包括在能够密封的钟罩内，同一中心轴线的置有埚托、置于埚托上垫板上的待退火晶体，直径Dh大于待退火晶体直径Dj的恒温筒和直径Df大于恒温筒直径Dh的发热体。发热体的热量以辐射的形式传给待退火晶体。待退火晶体不直接接触发热体，退火的温度是缓缓升高，消除了因温度突然升高而引起待退火晶体炸裂的因素。虽然退火温度可以高达2200℃，但均匀而容易控制。适宜对高温氧化物晶体的退火。

主权项

1.一种高温氧化物晶体的退火装置，包括：置于带排气口(17)的台板(16)上并与台板(16)密封接触的带有充气阀(3)的钟罩(1)，在钟罩(1)内置有由支撑架(14)支撑的带通到钟罩(1)外电极柱(15)的电极板(11)；在钟罩(1)内电极板(11)的中心位置上，置有带冷却管柱(12)的埚托(10)，埚托(10)的上面置有置放待退火晶体(7)的垫板(9)，靠近待退火晶体(7)处有伸到钟罩(1)外的热电偶(8)；待退火晶体(7)的顶上及周围置有由保温盖(2)和保温筒(4)构成的保温罩(18)，电极板(11)的支撑架(14)与埚托(10)的冷却管柱(12)之间置有保温屏(13)；其特征在于：在保温筒(4)与待退火晶体(7)之间，置有圆形对称的与电极板(11)直接连接的电阻加热式的发热体(5)；在发热体(5)与待退火晶体(7)之间置有与发热体(5)同是圆形对称的直径Dh小于发热体(5)的直径Df，大于待退火晶体(7)直径Dj的恒温筒(6)；上述的发热体(5)、恒温筒(6)、埚托(10)、置于埚托(10)上面的垫板(9)以及置于垫板(9)上的待退火晶体(7)均与钟罩(1)和保温罩(18)是同一中心轴线(OO)。