[发明专利]高温氧化物晶体的退火装置

权利要求书

1.一种高温氧化物晶体的退火装置，包括：

<1>置于带排气口(17)的台板(16)上并与台板(16)密封接触的带有充气阀(3)的钟罩(1)，在钟罩(1)内置有由支撑架(14)支撑的带通到钟罩(1)外电极柱(15)的电极板(11)；

<2>在钟罩(1)内电极板(11)的中心位置上，置有带冷却管柱(12)的埚托(10)，埚托(10)的上面置有置放待退火晶体(7)的垫板(9)，靠近待退火晶体(7)处有伸到钟罩(1)外的热电偶(8)；

<3>待退火晶体(7)的顶上及周围置有由保温盖(2)和保温筒(4)构成的保温罩(18)，电极板(11)的支撑架(14)与埚托(10)的冷却管柱(12)之间置有保温屏(13)；

其特征在于：

<4>在保温筒(4)与待退火晶体(7)之间，置有圆形对称的与电极板(11)直接连接的电阻加热式的发热体(5)；

<5>在发热体(5)与待退火晶体(7)之间置有与发热体(5)同是圆形对称的直径D_h小于发热体(5)的直径D_f，大于待退火晶体(7)直径D_j的恒温筒(6)；

<6>上述的发热体(5)、恒温筒(6)、埚托(10)、置于埚托(10)上面的垫板(9)以及置于垫板(9)上的待退火晶体(7)均与钟罩(1)和保温罩(18)是同一中心轴线(OO)。

2.根据权利要求1所述的高温氧化物晶体的退火装置，其特征在于所说的发热体(5)，带电极柱(15)的电极板(11)，恒温筒(6)以及置于埚托(10)上面的垫板(9)均是由同一种材料的钼，或钨，或钽构成。

3.根据权利要求1所述的高温氧化物晶体的退火装置，其特征在于所说的埚托(10)是由耐高温绝缘材料的氧化锆，或氧化铝，或铝酸镁，或高温陶瓷构成。

4.根据权利要求1所述的高温氧化物晶体的退火装置，其特征在于所说的构成保温罩(18)的保温盖(2)和保温筒(4)是由多层高温材料的刚玉板，或钼片，或钨片构成。

5.根据权利要求1所述的高温氧化物晶体的退火装置，其特征在于所说的恒温筒(6)的直径D_h小于发热体(5)的直径D_f是(D_f-D_h)/2＝30mm～100mm。