[发明专利]具有蚀刻背面的磷硅酸盐玻璃层的全集成热喷墨打印头无效
| 申请号： | 00108727.4 | 申请日： | 2000-05-26 |
| 公开（公告）号： | CN1286168A | 公开（公告）日： | 2001-03-07 |
| 发明（设计）人： | N·A·卡瓦穆拉;C·C·达维斯;T·L·韦伯;K·E·特吕巴;J·P·哈蒙;D·R·托马斯 | 申请（专利权）人： | 惠普公司 |
| 主分类号： | B41J2/14 | 分类号： | B41J2/14 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 蔡民军,黄力行 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种用集成电路技术生产的一体化打印头,其中将包括喷墨元件(24)在内的薄膜层(24,40－50)设置在硅基片(20)的上表面。对以上各层进行蚀刻,以便形成通向所述喷墨元件(24)的导电体(25)。基片(20)的下表面蚀刻一个槽(36)。薄膜层的上表面形成一个有孔层(28),以便形成喷口(34)和喷墨腔(30)。一磷硅酸盐玻璃(PSG)层提供位于电阻层之下的绝缘层,该PSG层从输墨孔被蚀刻回并受一钝化层保护,以避免油墨与PSG层反应。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 蚀刻 背面 硅酸盐 玻璃 集成 喷墨 打印头 | ||
【主权项】：
1．一种打印装置，包括：一个打印头，该打印头包括：一个打印头基片(20)；设置在所述基片(20)的第一表面上的若干薄膜层(24，40-50)，所述层中的至少一个形成若干喷墨元件(24)，所说层(42)之一包括一第一材料，以及所说层之一包括一在该第一材料层(42)上的保护层；通过所述薄膜层形成的输墨孔(24，40-50)；和位于所述基片(20)上的至少一个开口(36)，提供一个从所述基片的第二表面、通过所述基片(20)并到达设在所述薄膜层上的所述输墨孔(26)的油墨通道(38)；该第一材料层(42)从输墨孔(26)被蚀刻回，使其由保护层(46)保护而免受任何进入输墨孔(26)的流体的侵害。
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