[发明专利]具有蚀刻背面的磷硅酸盐玻璃层的全集成热喷墨打印头

权利要求书

1．一种打印装置，包括：

一个打印头，该打印头包括：

一个打印头基片(20)；

设置在所述基片(20)的第一表面上的若干薄膜层(24，40-50)，所述层中的至少一个形成若干喷墨元件(24)，所说层(42)之一包括一第一材料，以及所说层之一包括一在该第一材料层(42)上的保护层；

通过所述薄膜层形成的输墨孔(24，40-50)；和

位于所述基片(20)上的至少一个开口(36)，提供一个从所述基片的第二表面、通过所述基片(20)并到达设在所述薄膜层上的所述输墨孔(26)的油墨通道(38)；

该第一材料层(42)从输墨孔(26)被蚀刻回，使其由保护层(46)保护而免受任何进入输墨孔(26)的流体的侵害。

2．如权利要求1的装置，还包括一个设在所述薄膜层(24，40-50)上的有孔层(28)，所述有孔层形成若干喷墨腔(30)，在每一个喷墨腔里面有一喷墨元件(24，62)，所述有孔层还为每一个喷墨腔(30)界定一个喷口(34)。

3．如权利要求1或2的装置，其中，所述第一材料(42)为磷硅酸盐玻璃(PSG)

4．如权利要求3的装置，其中，所说薄膜层(24，40-50)包括

一层场氧化物(FOX)层(40)，之上形成有所说的PSG层(42)；

一电阻层(24)；以及

所说保护层(46)覆盖在上述电阻层和PSG层之上。

4．如权利要求3的装置，其中，所说薄膜层(24，40-50)包括一层场氧化物(FOX)层(40)，之上形成有所说的PSG层(42)，当在所说的基片(20)中形成该至少一个开口(36)时，该场氧化物层(40)形成一蚀刻阻挡层。

5．一种生产打印装置的方法，包括：

提供一个打印头基片(20)；

在所述基片(20)的第一表面形成若干薄膜层(24，40-50)，所述层中的至少一层上形成若干喷墨元件(24)，所说层(42)之一包括一第一材料；

蚀刻所说第一材料层(42)，使得该层从随后形成的输墨孔(30)回撤；

在所说第一材料之上方沉积一保护层(46)，以保护所说第一材料层(42)不受任何进入所说输墨孔(26)的侵害；

形成通过所述薄膜层(24，40-50)的输墨孔(26)；和

在所述基片(20)上形成至少一个开口(36)，提供一个从所述基片的第二表面、通过所述基片(20)并到达设在所述薄膜层(24，40-50)上的输墨孔(26)的油墨通道。

6．如权利要求5的方法，其中，所说的第一材料为磷硅酸盐玻璃(PSG)。

7．如权利要求6的方法，其中，形成若干薄膜层(24，40-50)的步骤包括在所说的PSG层(42)形成一电阻层(24)。

8．如权利要求6的方法，所说形成若干薄膜层(24，40-50)的步骤包括形成一层场氧化物(FOX)层(40)，之上形成有所说的PSG层(42)，当在所说的基片(20)中进行形成该至少一个开口(36)的步骤时，该场氧化物层(40)形成一蚀刻阻挡层。

9．一种打印方法，包括：

输送油墨(38)通过打印头基片(20)上的至少一个开口(36)，并通过设在所述基片(20)上的薄膜层(24，40-50)上的输墨孔(26)，由所述薄膜层中的至少一个形成若干喷墨元件(24)；

引导该流经所说至少一个开口(36)的油墨(38)流过薄膜层(24，40-50)，并流入喷墨腔(30)，这种引导包括引导该油墨流过并与覆盖第一材料层(42)的一层或多层相接触，其中第一材料层(42)的一边缘从所说输墨孔(26)回撤，并由一保护层(46)保护，使得油墨(38)不与第一材料层(42)接触；以及

给所述喷墨元件(24)供能，以便通过相关的喷口(34)排出油墨。

10．如权利要求9的方法，其中，所说的第一材料(42)包括磷硅酸盐玻璃(PSG)。