[发明专利]电子材料用基板洗净液有效
| 申请号： | 00106046.5 | 申请日： | 2000-04-20 |
| 公开（公告）号： | CN1271000A | 公开（公告）日： | 2000-10-25 |
| 发明（设计）人： | 石川典夫;阿部优美子;森清人 | 申请（专利权）人： | 关东化学株式会社 |
| 主分类号： | C11D1/00 | 分类号： | C11D1/00;C11D3/20;H01L21/461 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人： | 过晓东 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供不腐蚀金属、能够高效率地同时去除基板表面的金属杂质和颗粒的洗净液。作为洗净电子材料用基板的洗净液,它含有分散剂和表面活性剂中的至少任一种及有机酸化合物。 | ||
| 搜索关键词： | 电子 材料 用基板 洗净 | ||
【主权项】：
1、洗净电子材料用基板的洗净液，其含有分散剂和表面活性剂中的至少任一种及有机酸化合物。
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