[发明专利]改善激光干涉仪的测量的方法无效
| 申请号: | 99814090.2 | 申请日: | 1999-11-26 |
| 公开(公告)号: | CN1329711A | 公开(公告)日: | 2002-01-02 |
| 发明(设计)人: | 列昂尼德·米哈尔佐夫 | 申请(专利权)人: | 列昂尼德·米哈尔佐夫 |
| 主分类号: | G01B9/02 | 分类号: | G01B9/02;G01S7/497 |
| 代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人: | 罗朋,王忠忠 |
| 地址: | 芬兰约*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 改善 激光 干涉仪 测量 方法 | ||
【权利要求书】:
1、一种改善激光干涉仪(1,2)测量的,特别是距离测量的精度的方法,其特征在于,通过测量行进相同路径的声(5)速,沿着激光干涉仪发射的激光光束(3)整个路径确定空气温度的影响,并使用获得的结果值计算关于测量值,特别是距离测量值,的依赖于空气温度的校正值。
2、按照权利要求1的方法,其特征在于,声发射器/接收器(4a,4b,4c,4d)位于激光干涉仪(1,2)里面或它的附近,这样激光光束(3)和声波(5)的行进路径及轴尽可能地相互靠近,声波沿平行并且对称于激光光束的轴传播。
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