[发明专利]磁致电阻元件及其作为存储单元阵列内的存储元的应用有效
申请号: | 99812052.9 | 申请日: | 1999-08-02 |
公开(公告)号: | CN1323442A | 公开(公告)日: | 2001-11-21 |
发明(设计)人: | S·施瓦茨尔 | 申请(专利权)人: | 因芬尼昂技术股份公司 |
主分类号: | H01F10/08 | 分类号: | H01F10/08;H01L43/08;G11C11/15;G11C11/155;G11C11/16 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人: | 马铁良,张志醒 |
地址: | 德国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 致电 元件 及其 作为 存储 单元 阵列 应用 | ||
1.磁致电阻元件,
-其中,提供一个第1铁磁层元(11),一个非磁性层元(13)和一个第2铁磁层元,它们是如此安排的,使得非磁性层元安排在第1铁磁层元(11)和第2铁磁层元(12)之间,其中非磁性层元(13)对第1铁磁层元(11)和第2铁磁层元(12)各有一界面,
-其中,第1铁磁层元(11)和第2铁磁层元(12)基本上具有同一材料,
-其中,第1铁磁层元(11)和第2铁磁层元(12)各自在至少平行于非磁性层元(13)界面的一维具有不同尺寸。
2.根据权利要求1所述的磁致电阻元件,
-其中,第1铁磁层元(11)和第2铁磁层元(12)各自至少包含元素Fe,Ni,Co,Cr,Mn,Gd,Dy之一。
-其中,非磁性层至少包含材料Al2O3,NiO,HfO2,TiO2,NbO,SiO2之一,厚度在1和4nm之间,或者至少包含材料Cu,Ag,Au之一,厚度在2和4nm之间。
3.根据权利要求1或2所述的磁致电阻元件,其特征为
-其中,第1铁磁层元(11),第2铁磁层元(12)和非磁性层元(13)各自形成平面层元,并且彼此安排成叠层。
-其中,第1铁磁层元和第2铁磁层元在垂直叠层层系的一维具有基本上同一尺寸。
4.根据权利要求1所述的磁致电阻元件,其特征为,
-其中,第1铁磁层元(11)在垂直层系方向,具有尺寸为50nm到250nm×80nm到400nm,在平行层系方向,具有厚度在2nm和20nm之间,
-其中,第2铁磁层元(12)在垂直层系的一维,具有尺寸为65nm到350nm×80nm到400nm,在平行层系的一维,具有厚度在2到20nm之间,
-其中,第1铁磁层元(11)和第2铁磁层元(12)的尺寸,在垂直层系的一维上相差至少20%到30%。
5.根据权利要求1或2所述的磁致电阻元件,
-其中,第1铁磁层元(31),非铁磁层元(33)和第2铁磁层元(32)各自形成空心圆筒形,其中,第1铁磁层元(31)的外径和/或内径与第2铁磁层元(32)的外径及内径不同,以及其中,第1铁磁层元(31),非磁性层元(33)和第2铁磁层元(32)在空心圆筒的主轴方向叠层。
6.根据权利要求5所述的磁致电阻层元,
-其中,第1铁磁层元(31)的外径为75nm到300,第1铁磁层元(31)在平行于主轴方向的厚度为2nm到20nm。
-其中,第2铁磁层元(32)的外径为100nm到400nm,平行于圆筒主轴的第2铁磁层元(32)的厚度为2nm到20nm。
7.根据权利要求1或2所述的磁致电阻元件,
-其中,第1铁磁层元(41),非磁性层元(43)和第2铁磁层元(42)各自形成空心圆筒,
-其中,第1铁磁层元(41),非磁性层元(43)和第2铁磁层元(42)彼此同心安排,其中,非磁性层元(43)安排在第1铁磁层元(41)和第2铁磁层元(42)之间,
-其中,第1铁磁层元(41)和第2铁磁层元(42)其平行于圆筒主轴的高度不同。
8.根据权利要求7所述的磁致电阻元件,
-其中,第1铁磁层元(41)具有外径在70nm和400nm之间,内径在60nm和390nm之间,平行于圆筒主轴的高度在35nm和180nm之间。
-其中,第2铁磁层元具有外径在60nm和390nm之间,内径在50nm和380nm之间,平行于圆筒主轴的高度在50nm和400nm之间。
9.根据权利要求1到8之一所述的磁致电阻元件作为存储单元阵列的存储元应用。
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