[发明专利]用于正性光刻胶的混合溶剂体系无效
| 申请号： | 99812005.7 | 申请日： | 1999-10-02 |
| 公开（公告）号： | CN1160597C | 公开（公告）日： | 2004-08-04 |
| 发明（设计）人： | J·N·艾尔贝克;A·D·迪奥赛斯 | 申请（专利权）人： | 克拉里安特国际有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 陈季壮 |
| 地址： | 瑞士*** | 国省代码： | 瑞士;CH |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 光刻 混合 溶剂 体系 | ||
【权利要求书】：
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