[发明专利]抛光晶片边缘的方法和设备无效
| 申请号： | 99809706.3 | 申请日： | 1999-06-17 |
| 公开（公告）号： | CN1138612C | 公开（公告）日： | 2004-02-18 |
| 发明（设计）人： | M·A·斯托克尔 | 申请（专利权）人： | 尤诺瓦英国有限公司 |
| 主分类号： | B24B9/00 | 分类号： | B24B9/00;B24B1/00;H01L21/304 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 蔡民军;黄力行 |
| 地址： | 英国白*** | 国省代码： | 英国;GB |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 抛光 晶片 边缘 方法 设备 | ||
【权利要求书】：
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于尤诺瓦英国有限公司，未经尤诺瓦英国有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/99809706.3/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
