[发明专利]基片的运送装置和方法

说明书

本发明涉及一种具有一个内孔的基片用的带一个内手爪和一个外手爪的运送装置和一种具有一个内孔的基片用的运送方法，该方法用一个内孔手爪抓住第一个基片。

这类方法和装置例如源出于同一申请人的未提前公开的德国专利DE-A 197 18 471，因此该专利被用作本次申请的内容，以免重复。在该处所述的粘接两个基片的装置中，公开了运送基片的、在下面称为运送器的多个装置。这些用来把基片从一个圆形转台运送到一个粘接工位的运送器之一具有一个内手爪和一个外手爪，这两个手爪分别做成所谓的真空手爪。这种运送器的工作方式为，首先从圆形转台用内手爪抓住第一个基片，运送到一个粘接工位并在该处放下。然后该运送器返回到圆形转台。在该处，该运送器用内手爪抓住第二个基片，该基片与外手爪接触，这时通过内手爪与外手爪的共同作用在第二个基片上产生弯曲。然后，第二个基片被送到粘接工位并在该处放到已涂上了一种胶粘剂的第一个基片上。

上述的运送器只能分别抓住和运送一个基片。此外，在手爪松开时，为了加速真空手爪的松开，不但需要消除负压，而且还需要在该基片上作用一个正的空气冲击力。但特别是在松开内手爪时会产生这样的危险，即在两个待粘接的基片之间吹入空气，这是不希望发生的，因为这可导致在基片之间的胶粘剂夹杂空气。

在DE-A-197 18 471所述的装置中，在别的部位也使用了内孔手爪，这种手爪分别抓住一个基片或一些相互粘接的基片的一个内孔，以便运送它们。但这种内孔手爪只能分别抓住和运送一个基片或相互粘接的、构成一个单元的基片。

此外，从DE-A-195 29 537中已知一种具有一个内孔的平基片的抓取和吸持装置，其中支承在一个外壳内可翻转的多个手指状的手爪引入该基片的内孔并随即向外旋转，以便夹持住基片内孔。在《液压系统和气动系统》杂志22卷《1978年》第1期第10页上也示出了不同的气动手爪，其中描述了一个内孔手爪。在DE-A-195 29 537和该杂志中所述的内孔手爪都存在这样的问题，即分别只能运送一个单独的基片。

本发明的目的在于，提出基片的一种运送装置和方法，这种装置或方法可同时运送多个基片而且结构简单或容易实施并可达到高的生产率。本发明的另一个目的在于，提出一种具有一个内孔的基片的运送装置和方法，这种方法可避免在重叠的基片之间夹杂空气。

根据本发明，这个目的是通过开始时所述的一种装置来实现的，在该装置中，内手爪是一个内孔手爪。与迄今为止所用的真空手爪比较，作为内孔手爪的内手爪的结构优点在于，内孔手爪可迅速而有效地松开，而不存在例如空气进入两个待粘接的基片之间的危险。

根据本发明的一个很有利的结构，外手爪和内手爪可进行相对运动，特别是，内孔手爪可进行垂直运动。通过这种相对运动，一个待抓取的基片首先被一个手爪抓住，然后该基片与另一个手爪接触并被后者抓住。

内孔手爪的外直径最好小于基片的内孔的内直径，以便内孔手爪可伸过第一个基片和抓住第二个基片，而第一个基片则通过外手爪抓住或夹住。为了实现内孔手爪的简单和有效的工作方式，内孔手爪最好是气动的。

根据本发明的一种有利的结构型式，为了在抓取一个或多个基片时增加该装置的灵活性，内手爪和外手爪可相互独立操作。根据本发明的一种结构型式，外手爪是一个真空吸气器，该真空吸气器具有许多布置在一个环上的吸气器，这些吸气器保证了在外部范围内的基片的可靠的吸持。该环最好具有一个凸起弯曲的形状，以使由外手爪吸持的基片在边缘区产生弯曲，从而在把这样吸持住的基片放到另一个基片上时，这个吸持住的基片的中间区域首先与位于下面的基片接触，然后才接触边缘区域，这样就可在基片之间避免空气夹杂。基片运送装置最好可进行水平运动。

此外，所提出的目的是通过开始时所述的一种方法来实现的，在这种方法中，由内孔手爪抓取的第一基片与一个外手爪接触，该基片被外手爪抓住，内孔手爪松开，该内孔手爪通过第一基片的孔进行运动并抓取第二个基片。这种方法可同时抓取和必要时运送两个基片，从而缩短循还时间。此外，由于可同时运送两个基片，所以可缩短运送距离，从而提高了所用元件尤其是传动装置的寿命。其次，可在第一个基片和第二个基片之间达到准确地定中心，因为内孔手爪分别通过夹持住其内孔对基片定中心，而且在转移到外手爪上时也保持了这样定好的中心。

第一个基片与外手爪的接触最好通过一个垂直运动尤其是通过内孔手爪的提升运动来实现。