[发明专利]光致抗蚀剂剥离液及剥离方法无效
| 申请号： | 99802638.7 | 申请日： | 1999-12-01 |
| 公开（公告）号： | CN1289416A | 公开（公告）日： | 2001-03-28 |
| 发明（设计）人： | 武田贵志;荒野明男 | 申请（专利权）人： | 克拉瑞特国际有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/42 | 分类号： | G03F7/42;H01L21/027 |
| 代理公司： | 北京三幸商标专利事务所 | 代理人： | 刘激扬 |
| 地址： | 瑞士*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 光致抗蚀剂 剥离 方法 | ||
【权利要求书】：
1．含有下列通式(Ⅰ)的嘧啶酮化合物的光致抗蚀剂剥离液：
式中的R1和R2各自代表一个氢原子或一个含有1～4个碳原子的烷基。
2．根据权利要求1的光致抗蚀剂剥离液，其中上述嘧啶酮化合物的含量是10～100重量％。
3．根据权利要求1或2的光致抗蚀剂剥离液，其中上述嘧啶酮化合物是1，3-二甲基-3，4，5，6-四氢-2(1H)-嘧啶酮。
4．剥离光致抗蚀剂的方法，其中用权利要求1，2或3的光致抗蚀剂剥离液剥离光致抗蚀剂。
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