[发明专利]X射线显象管及其制造方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种X射线显象管及其制造方法，所述X射线显象管的透射X射线的X射线入射窗设置于真空封装管壳的一端。

背景技术

X射线显象管为一将X射线变换为可视光线等的电子管，适用于医疗用的诊断装置等。X射线显象管整体由真空(封装)管壳构成，在真空管壳的一端，例如，在入射X射线的一侧设置有入射窗。该X射线入射窗周边部分接合于高强度的管架，该管架与真空管壳的筒状部分作气密接合。真空管壳的内部须维持在高度真空，在入射窗和管架的接合部分要求具有高度的真空气密性。

以往的X射线显象管在将入射窗和管架作气密接合时，作为其中一个方法，已知有将中间部件插入由具有可透过X射线特性的钛或钛合金组成的入射窗构件和由铁合金组成的管架构件之间、通过点熔接触焊进行焊接接合的方法(参照日本专利特开昭57-3340号公报)。

上述结构是：钛或钛合金的X射线入射窗的厚度作得非常薄，使其入射窗厚度在例如0.1mm或之下，藉由真空管壳内、外部的压力差，使部分入射窗成形为部分凹向真空管壳内侧向的形状。因此，在形成凹状入射窗的内侧真空区域附近，在附着有入射屏的逆方向上，必须设置拱形突出的入射基板。这使得整个真空管壳的长度变长。又，接触焊时，从入射窗、管架或中间部件产生焊料飞溅，飞溅的焊料飞散至真空管壳内部，便会降低其耐电压性能，或是在出射画面上形成点状痕迹。

另一个方法是，使用铝或铝合金组成的X射线入射窗构件，将该入射窗构件和表面镀镍层(Ni)的铁或铁合金组成的管架构件进行热压焊接的方法(参照日本专利特公昭58-18740号公报)。

这里，参照图10-图12，就对入射窗构件和管架构件进行热压焊接接合的X射线显象管及其热压焊接接合的方法作一说明。

在图10中，符号101为真空管壳，该真空管壳101由：位于其一端、用于X射线透过的X射线入射窗102，及位于中间的显象管壳体部103、位于另一端的出射窗104等构成。入射窗102的周边部接合于高强度金属制的管架105，管架105接合于显象管壳体部103。入射窗102真空管腔一侧的内侧面直接附着有将X射线变换为电子的入射屏106。又，真空管壳101内，设置有将入射屏部106所发生的电子加速、聚焦的多个聚焦电极107a-107c，及阳极108。出射窗104的真空管腔一侧形成有将电子变换为设定的输出信号的出射屏109。又，符号M表示管轴。

下面，参照图11，就图10中被圆圈A所圈出的入射窗102和高强度的管架105的接合部分的接合方法作一说明。在图11中，与图10对应的部分用相同的符号表示，省略部分重复的说明。

符号111为接合装置的圆筒状底座，在该底座111上载有环状管架105。管架105由不锈钢形成，如图中半截面所示，其(周边部)折曲为曲柄状，且在表面电镀镍。如图中截面所示，管架105由(位于显象管)内侧的第一平坦部105a和，从该第一平坦部105a垂直向上折曲的垂直部分105b、及(位于显象管)外侧的第二平坦部105c构成。而且，入射窗102周边部设置凸缘部102f，以使所述凸缘部与管架105的第一平坦部105a的上部接触。入射窗102由例如铝(Al)合金形成，其中央部位在图的上方作拱状凸起。另外，使其从入射窗102周边的凸缘部102f的上方与加压孔112接触。

在上述结构中，将底座111及加压孔112加热至约500℃左右，同时，对入射窗102和管架105的接合区域加上约为1600Kg/cm²的压力，进行接合。

如上所述的热压接合方法在高温及大压力下进行加压。由此，易使管架构件及入射窗构件发生变形。特别是，作为入射窗构件的铝材有时会较多地流向被加压区域的内外周边部，入射窗在该接合部附近发生较大的变形。

即，在图12中，在和管架105接合之前的入射窗102的形状(图11状态下的入射窗形状)以点线表示，此时，热压接合后的入射窗102则如符号E所示，其接合部的(显象管)内侧区域有部分隆起的变形倾向。该区域包括可形成入射屏的有效区域，如在这些区域发生入射窗的变形，则在入射窗102的内侧面上直接形成入射屏。在此等场合下，在形成于真空管壳内的电子透镜上发生部分应变失真。

又，与入射窗102焊接的高强度金属制管架105因加热而发生如扭曲等变形的情况也不少。由此，有时会使得焊接后入射窗的变形更加显著。这样，热压焊接接合法并不容易形成高精度的入射窗102，且还需要为提高效率而费工夫。