[实用新型]多探头微机膜厚测控装置

权利要求书

1.一种多探头微机膜厚测控装置由主计算机、计算机接口卡、数据采集卡、石英晶体探头、光探头、挡板驱动器经电路连接构成，其特征在于数据采集卡由两部分组成，一部分为对应于光探头并与之连接的光电数据采集器，它由光探头电路、计数器、移位寄存器经电路连接构成；另一部分为对应于石英晶体探头并与之连接的振荡信号数据采集器，它由振荡器、计数器、驱动器和继电路、移位寄存器经电路连接构成；计算机接口卡上设有清零、时基信号、移位信号、输入端口、输出端口；数据采集卡的各路计数器的一个端点与接口卡的清零端连接，另一个端点与接口卡的时基信号端连接，移位寄存器的一个端点与接口卡的移位信号端连接，另一个端点分别与接口卡的输入端口连接；各挡板驱动器分别与接口卡的输出端口连接。

2.根据权利要求1所述的多探头微机膜厚测控装置，其特征在于石英晶体探头和光探头数量可多到16个，相应的数据采集卡的线路也可多至16路，接口卡的输入端口、输出端口分别多至16个，挡板驱动器也多至16个。

3.根据权利要求1或2所述的多探头微机膜厚测控装置，其特征在于数据采集卡和计算机接口卡之间采用多芯长屏蔽线连接以实现两者之间的并行通信。