[实用新型]一种可见近红外/红外分色片

说明书

本实用新型涉及光学元件，具体涉及分色片，是一种可见近红外/红外分色片。

光学薄膜分色片是一种重要的分光器件，已广泛应用于航空航天遥感、通信、分析仪器等许多科技领域。由于现有的分色片透射区为400-900nm，反射区为＞2000nm，其透射区范围较窄，反射区波段较长，不能满足现代多光谱空间遥感仪器的分色使用。

本实用新型的目的是提供一种可见近红外/红外分色片，其透射区为400-1050nm，平均透过率为70％；反射区为＞1500nm。

本实用新型是这样实现的，即，以双面抛光的石英作为基板，在基板的入射面较替镀有多层硫化锌膜层和银膜层，其中该多层膜系为：

              n₀/1H0.011L2H0.011L1H/n_s，式中各符号含义分别为：n₀表示空气，H表示光学厚度为λ₀/4硫化锌膜层，L表示光学厚度为λ₀/4银膜层，n_s表示石英基板，λ₀表示中心波长。

下面结合附图对本实用新型的分色片实施方式作进一步的祥述。

图1为本实用新型分色片的膜层结构示意图；

图2为本实用新型分色片的产品实测光谱曲线图；

图3为本实用新型分色片的产品理论计算光谱曲线图。

参阅图1，本实用新型分色片包括一块基板1，在该基板1的表面镀有多层光学薄膜层2，3。具体地，本实用新型以双面抛光的石英作为基板1，其外形可视实际需要而定，厚度介于5-10mm之间，基板1表面的多层光学薄膜层2，3系由交替间隔的硫化锌膜层2和银膜层3组成。通过真空镀膜将硫化锌膜层2和银膜层3按设计的膜系分别蒸镀在基片表面，镀膜中采用离子源辅助镀膜，室温镀制。

本实用新型分色片的膜系设计为：

           n₀/1H0.011L2H0.011L1H/n_s，式中各符号含义分别为：n₀表示空气，H表示λ₀/4硫化锌膜层，L表示λ₀/4银膜层，n_s表示石英基板，λ₀表示中心波长，为400nm。

由图2可知本实用新型分色片在入射角为45°下测得，透射区波段为400-1050nm，透过率＞60％，平均透过率为70％；反射区1500nm-2000nm，反射率为60％-80％；长波反射区＞2000nm，反射率＞85％，与图3的理论计算曲线相近。因此，本实用新型特别适合于现代多光谱空间遥感仪器的分色使用。

本实用新型有益效果如下：

1.本实用新型提供了一种可见近红外/红外分色片，透射区的透过率高，反射区的反射率高，透射区的透过光谱范围宽，从透射区到反射区的变化很快。

2.本实用新型的技术方案设计合理可行，产品成品率高，可批量生产，满足使用要求。

3.本实用新型由于采用了离子源辅助常温镀膜技术，提高了膜层的牢固度，能通过环模试验，产品性能稳定。