[发明专利]用于金属材料的抗蚀涂料组合物

权利要求书

1.一种用于金属材料的抗蚀涂料组合物，包括按1升组合物计的0.1至50g在水中的硅烷偶联剂和/或其可水解的缩合物。

2.一种抗蚀涂料组合物，包括在水中的一种硅烷偶联剂和/或其可水解缩合物及至少一种选自磷酸根离子、亚磷酸根离子和次磷酸根离子的含磷离子，其用量按每升组合物计分别为0.1至50g和0.1至100g。

3.一种抗蚀涂料组合物，包括在水中的一种硅烷偶联剂和/或其可水解缩合物及至少一种选自硫代羰基化合物、三嗪硫醇化合物、硫化物离子、过硫酸根离子和硫代硫酸根离子的含硫化合物或含硫离子，其用量按每升组合物计分别为0.1至50g和0.1至100g。

4.一种抗蚀涂料组合物，包括在水中的硅烷偶联剂和/或其可水解缩合物，至少一种选自磷酸根离子、亚磷酸根离子和次磷酸根离子的含磷离子，和至少一种选自硫代羰基化合物、三嗪硫醇化合物、硫化物离子、过硫酸根离子和硫代硫酸根离子的含硫化合物或含硫离子，其含量分别为每升组合物0.1g至50g，0.1g至100g和0.1g至100g。

5.根据权利要求1至4任何一项的抗蚀涂料组合物，其中硅烷偶联剂为选自乙烯基甲氧基硅烷、乙烯基三甲氧基硅烷、乙烯基乙氧基硅烷、乙烯基三乙氧基硅烷、3-氨丙基三乙氧基硅烷、3-缩水甘油氧丙基三甲氧基硅烷、3-甲基丙烯酰氧丙基三甲氧基硅烷、3-巯丙基三甲氧基硅烷、N-(1，3-二甲基亚丁基)-3-(三乙氧基甲硅烷基)-1-丙烷胺、N，N′-双[3-(三甲氧基甲硅烷基)丙基]亚乙基二胺、N-(β-氨乙基)-γ-氨丙基甲基二甲氧基硅烷、N-(β-氨乙基)-γ-氨丙基三甲氧基硅烷、γ-氨丙基三甲氧基硅烷、γ-氨丙基三乙氧基硅烷、γ-缩水甘油氧丙基三甲氧基硅烷、γ-缩水甘油氧丙基三乙氧基硅烷、γ-缩水甘油氧丙基甲基二甲氧基硅烷、2-(3，4-环氧环己基)乙基三甲氧基硅烷、γ-甲基丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅烷、γ-甲基丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅烷、γ-巯丙基三甲氧基硅烷、γ-巯丙基三乙氧基硅烷、和N-[2-(乙烯基苄氨基)乙基]-3-氨丙基三甲氧基硅烷中的一种。

6.根据权利要求1至4任何一项的抗蚀涂料组合物，其中硅烷偶联剂为选自乙烯基甲氧基硅烷、乙烯基乙氧基硅烷、3-氨丙基三乙氧基硅烷、3-缩水甘油氧丙基三甲氧基硅烷、3-甲基丙烯酰氧丙基三甲氧基硅烷、3-巯丙基三甲氧基硅烷、N-(1，3-二甲基亚丁基)-3-(三乙氧基甲硅烷基)-1-丙烷胺和N，N′-双[3-(三甲氧基甲硅烷基)丙基]亚乙基二胺或其混合物中的一种。

7.一种抗蚀涂料组合物，包括在1升含水树脂溶液或含水树脂悬浮液中的0.1至50g硅烷偶联剂和/或其可水解缩合物。

8.一种抗蚀涂料组合物，包括在1升含水树脂溶液或含水树脂悬浮液中的0.1至50g硅烷偶联剂和/或其可水解缩合物、和0.1至5g至少一种选自磷酸根离子、亚磷酸根离子和次磷酸根离子的含磷离子。

9.一种抗蚀涂料组合物，包括在1升含水树脂溶液或含水树脂悬浮液中的0.1至50g硅烷偶联剂和/或其可水解缩合物、和0.1至50g至少一种选自硫代羰基化合物、三嗪硫醇化合物、硫化物离子、过硫酸根离子和硫代硫酸根离子的含硫化合物或含硫离子。

10.一种抗蚀涂料组合物，包括在1升含水树脂溶液或含水树脂悬浮液中的0.1至50g硅烷偶联剂和/或其可水解缩合物、0.1至5g至少一种选自磷酸根离子、亚磷酸根离子和次磷酸根离子的含磷离子和0.1至50g至少一种选自硫代羰基化合物、三嗪硫醇化合物、硫化物离子、过硫酸根离子和硫代硫酸根离子的含硫化合物或含硫离子。