[发明专利]谐振式热式流量/流速传感器及其测量方法

权利要求书

1、一种谐振式热式流量/流速传感器，在绝缘基座上的敏感元件、加热器及导线组成的探头封装在金属外壳中，其特征在于：敏感元件为石英晶体。

2、根据权利要求1所述的谐振式热式流量/流速传感器，其特征在于：石英晶体一面的热膜既作加热器又兼作石英晶振一个电极、石英晶体另一面的金属膜作为石英晶振的另一个电极构成热膜式传感器，其加热电极和石英晶振电极经导线引出基座外。

3、根据权利要求1所述的谐振式热式流量/流速传感器，其特征在于：石英晶体与金属外壳之间的热丝作为加热器构成热丝式传感器，其石英晶振电极和加热电极经导线引出基座外。

4、根据权利要求1所述的谐振式热式流量/流速传感器，其特征在于：探头封装在充入一个大气氮气的金属外壳中，该外壳横截面呈类流线型外形。

5、根据权利要求1所述的谐振式热式流量/流速传感器，其特征在于：敏感元件可以是声表面波、压电陶瓷中的一种。

6、一种谐振式热式流量/流速传感器，包括壳体、绝缘底座、支架、探头及导线，其特征在于：在内装有振荡器、混频器电路的底座上面的支架上具有普通石英晶振探头和带加热器的石英晶振探头，其加热器引线、电源线、地线、信号输出线分别经导线引出底座外。

7、根据权利要求6所述的谐振式热式流量/流速传感器，其特征在于：带加热器的石英晶振探头为上述权利要求2、3所述的热膜式、热丝式任一种。

8、一种谐振式热式流量/流速传感器的测量方法，其特征在于：普通石英晶振探头作为流体温度测量，带加热器的石英晶振探头作为与流体热交换过程中温度的测量，流量/流速的变化引起两探头温度变化使两石英晶振的谐振频率变化，将探头两石英晶振频率经混频得到的差频为数字量信号，该信号直接输入到微处理器进行处理后即得到流量/流速变化值。

9、根据权利要求8所述的谐振式热式流量/流速传感器的测量方法，其特征在于：包括普通石英晶振探头、带加热器的石英晶振探头分别接有振荡电路再经混频电路构成传感器的恒流式测量电路。

10、根据权利要求8所述的谐振式热式流量/流速传感器的测量方法，其特征在于：包括普通石英晶振探头、带加热器的石英晶振探头分别接有振荡电路再经混频电路及脉冲调宽电路构成传感器的恒温式测量电路。