[发明专利]硅氧烷光敏树脂组合物及利用其形成图案的方法

权利要求书

1.一种用于制造薄膜晶体管-液晶显示器用光敏树脂组合物，其中该光敏树脂组合物包括多元酚系辅助粘结剂、光酸发生剂及交联剂，所述多元酚辅助粘结剂选自下面通式(I)的硅氧烷系聚合体粘结剂、聚羟基苯乙烯或聚苯乙烯-羟基苯乙烯，

其中，R₁是氢，碳原子为1～4个的烷基或苯基，R₂是1～4个碳原子的烷基，n是整数，并表示聚合度。

2.按照权利要求1所述的光敏树脂组合物，其中上述光酸发生剂选自下面结构式(II)或(III)的三苯基磺酸盐、下面结构式(IV)或(V)的二苯基碘酸盐以及下面通式(VI)的三嗪衍生物的卤化物，

其中，R是CN或苯基。

3.按照权利要求1所述的光敏树脂组合物，其中光酸发生剂的重量占粘结剂树脂重量的0.01～30％。

4.按照权利要求1所述的光敏树脂组合物，其中下面通式(VII)的密胺衍生物或下面结构式(VIII)的胍胺衍生物占粘结剂树脂重量的0.01～35％，其中，R是CH₂OCH₃或H，

5.一种液晶显示装置的图案形成方法，其中将权利要求1的光敏树脂组合物涂敷在液晶显示装置的玻璃基板上，并进行干燥、安装光罩并进行选择性曝光和显像而形成交联固化的负型图案。

6.按照权利要求5所述的图案形成方法，其中在液晶显示装置的中间绝缘层形成图案。