[发明专利]在母材基板表面形成沟槽的方法无效
| 申请号： | 99102351.X | 申请日： | 1999-02-09 |
| 公开（公告）号： | CN1134888C | 公开（公告）日： | 2004-01-14 |
| 发明（设计）人： | 宝田益义;轮岛正哉 | 申请（专利权）人： | 株式会社村田制作所 |
| 主分类号： | H03H3/007 | 分类号： | H03H3/007;H03H9/02 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所 | 代理人： | 侯佳猷 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 母材基板 表面 形成 沟槽 方法 | ||
【说明书】：
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