[发明专利]包含具有酸不稳定侧基的多环聚合物的光刻胶组合物无效
| 申请号： | 98808918.1 | 申请日： | 1998-09-03 |
| 公开（公告）号： | CN1148396C | 公开（公告）日： | 2004-05-05 |
| 发明（设计）人： | L·F·罗迪斯;A·贝尔;S·扎亚拉曼;J－H·利比亚恩;B·L·古达尔;R·A·施克 | 申请（专利权）人： | 住友电木株式会社 |
| 主分类号： | C08G61/08 | 分类号： | C08G61/08;G03F7/023 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 刘金辉 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 包含 具有 不稳定 聚合物 光刻 组合 | ||
【权利要求书】：
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