[发明专利]微型机械式静电继电器及其制造方法

权利要求书

1．微型机械式静电继电器，具有

-带有基极(1,11)的基本基片(1)，并且具有至少一个固定触点(7)、一个衔铁簧舌(41)，其单侧连接到与基本基片(1)相连的支持层(4)上，该衔铁簧舌有一个在基极(1,11)对面布置的衔铁电极(41)，静止状态时根据楔形空气隙的构造该衔铁簧舌可灵活的从基本基片(1)向外弯曲并且在其自由端至少有一个布置在固定触点(7)对面的活动触点(8)，其特征是，

至少一个固定触点(7)被布置在固定触点簧舌(42)上，该固定触点簧舌连接到在衔铁簧舌(41)对面布置的单侧固定的支持层(4)上并且在静止状态由基本基片(1)灵活的向外弯曲，同时

至少一个活动触点(8)通过簧舌的突出部分被布置在衔铁簧舌(41)的自由端并且与固定触点(7)重合。

2．根据权利要求1的继电器，其特征是，衔铁簧舌(41)和固定触点簧舌(42)是由相同的支持层(4)构成的。

3．根据权利要求1或2的继电器，其特征是，至少一个活动的触点(8)具有近似Z形式的横断面，这里末端铁心放在衔铁簧舌(41)上并且与衔铁簧舌近似平行的末端铁心与固定触点(7)重合。

4．根据权利要求1到3之一的继电器，其特征是，衔铁簧舌(41)的自由端和固定触点簧舌(42)以齿形交错连接，这里簧舌(42,41)的每一个突出部分(44,47)都嵌入到另一个簧舌(41,42)的凹座中，并且在固定触点簧舌(42)的突出部分(44,46)上布置了至少一个固定触点(7)，同时在另外一个簧舌的凹座上扩展了至少一个活动触点(8)。

5．根据权利要求4的继电器，其特征是，在扩展状态下衔铁簧舌(41)利用其按钳形构造的末端部分(43)包住一个在固定触点簧舌(42)中间的支撑固定触点(7)的突出部分(44)，并且两侧布置的活动触点(8)在固定触点(7)上随意扩展。

6．根据权利要求4的继电器，其特征是，在扩展状态时衔铁簧舌(41)的中间突出部分(47)连接在固定触点簧舌(42)上的布置了固定触点(7)的两个突出部分(46)之间，并且活动触点(8)是被固定在中间突出部分(47)上的并且在固定触点上面向两侧自由扩展。

7．根据权利要求4的继电器，其特征是，衔铁簧舌(141)的中间突出部分(147)支撑着向两侧伸展的电桥触点(148)并且两个固定触点簧舌(142,143)分别支撑着与电桥触点(148)共同作用的固定触点(144,145)。

8．根据权利要求1到7之一的继电器，其特征是，簧舌的支持层(4)是一个沉积层，该沉积层位于基本基片(1)上一部分被腐蚀的的消耗层(3)的中间接缝下。

9．根据权利要求1到8之一的继电器，其特征是，基本基片(1)和支持层(4)是由硅组成的并且在基本基片中和在衔铁簧舌中的两个电极层是通过固有导电的或掺杂的硅来构造的。

10．根据权利要求1到9之一的继电器，其特征是，簧舌(41,42)总是在远离基本基片上的一侧上至少利用其长度的一部分来给出一个产生拉应力的层(6,61)。

11．根据权利要求1到10之一的继电器，其特征是，构造簧舌(41,42)的支持层是由沉积的多晶硅或带有再结晶的多晶硅组成的。

12．根据权利要求1到10之一的继电器，其特征是，构造簧舌(41,42)的支持层(4)是由电镀涂上的金属层，特别如镍、镍铁合金或其他镍合金来组成的。

13．根据权利要求1到9之一的继电器，其特征是，基本基片是由硅或玻璃组成的，并且构成簧舌(41,42)的弹性层(4)是通过固定在基本基片上并且自由分布的由硅晶片(20)组成的硅层(21)来构成的。