[发明专利]工件处理系统的驱动组件

权利要求书

1.一种用于处理微电子工件的设备，其特征在于包括：

机架；

与机架固定对齐并限定了一个处理室的处理槽；

用于承载至少一件微电子工件的微电子工件支撑结构，其中该种微电子工件支座的所采用装配方式使其可在处理室内转动；

配置于处理室外部且与之相连，用于带动微电子工件支座转动的电机驱动组件，其包括：

电驱动电机，和

连在该电驱动电机与机架之间的减震器。

2.如权利要求1所述的设备，其特征在于所述电驱动电机包括一条绕转动轴转动的转子轴，而减震器则用于在震动力具有与转动轴相垂直的分量时，沿与转子轴垂直的几乎所有方向发生弹性变形，以起到减震的作用。

3.如权利要求2所述的设备，其特征在于所述减震器包括：

用于使其能够以与机架固定对齐的方式进行装配的外侧固定法兰，穿过该外侧固定法兰形成有一个近似圆形的小孔，该近似圆形小孔的内缘位于第一直径处；

用于以与转子的转动轴基本同心、并与外侧固定法兰的近似圆形小孔基本同心的方式来安装电驱动电机的电机固定件，该电机固定件上在第二直径处形成有一个近似圆形的外周边外周边，其中第二直径比第一直径略小一些，以由此在电机固定件的外周边和外侧固定法兰的内缘之间形成填隙区；

由弹性材料制成的减震波板，该减震波板被填置于填隙区内，并由电机固定件和外侧固定法兰来进行固定。

4.如权利要求3所述的设备，其特征在于所述减震波板包括：

与外侧法兰部件的内缘相啮合并由其进行固定的外凸缘；

与电机固定件的外周边相啮合并由其进行固定的内凸缘；以及

位于外凸缘和内凸缘之间的弧形部分。

5.如权利要求4所述的设备，其特征在于所述外凸缘、内凸缘以及弧形部分被形成为一个单独的整体。

6.一种用于处理微电子工件的设备，其特征在于包括：

机架；

与机架固定对齐并限定了一个处理室的处理槽；

用于承载至少一件微电子工件的微电子工件支撑结构，其中该种微电子工件支座所采用的装配方式使其可在处理室内绕转动轴转动，而转动轴通常为水平轴；

配置于处理室外部且与之相连，用于带动微电子工件支座绕转动轴转动的电机驱动组件，其包括：

具有与微电子工件支撑结构相连用以驱动其转动的转子轴的电驱动电机，其中该转子轴的转动轴与微电子工件支架的转动轴大致共线，另外该电驱动电机靠近微电子工件支撑部件的一端为第一末端，而远离微电子工件支撑部件的一端为第二末端；

连在该电驱动电机的第一末端与机架之间的减震器，该减震器用于在震动力具有与转动轴相垂直的分量时，沿几乎所有与转子轴垂直的方向发生弹性变形，以起到减震的作用。

7.如权利要求6所述的设备，其特征在于另外包括连在电驱动电机的第二末端与机架之间的另外的减震器，该另外的减震器用于在震动力具有沿与转子轴相垂直方向的分量时，沿几乎所有上述方向发生弹性变形，以起到减震的作用。

8.如权利要求6所述的设备，其特征在于所述减震器包括：

用于使其能够以与机架固定对齐的方式进行装配的外侧固定法兰，穿过该外侧固定法兰形成有一个近似圆形的小孔，该近似圆形小孔的内缘位于第一直径处；

用于以与转子的转动轴基本同心，同时与外侧固定法兰的近似圆形小孔基本同心的方式来固定电驱动电机的第一末端的电机固定件，该电机固定件上第二直径处形成有一个近似圆形的外周边，其中第二直径比第一直径略小一些，以由此在电机固定件的外周边与外侧固定法兰的内缘之间形成填隙区；

由弹性材料制成的减震波板，该减震波板被填置于填隙区内，并由电机固定件和外侧固定法兰来进行固定。

9.如权利要求8所述的设备，其特征在于所述减震波板包括：

与外侧固定法兰的内缘相啮合并由其固定的外凸缘；

与外侧固定法兰的外周边相啮合并由其固定的内凸缘；以及

位于外凸缘和内凸缘之间的弧形部分。

10.如权利要求9所述的设备，其特征在于所述外凸缘、内凸缘以及弧形部分被形成为一个单独的整体。