[发明专利]用于制备石英玻璃的氯化锗和硅氧烷原料和方法

权利要求书

1.一种制造光波导预制棒的方法，其特征在于该方法包括如下步骤：

(a)按1-10重量份高纯度硅氧烷对1重量份高纯度氯化锗的比例将所述的硅氧烷与所述的氯化锗混合成流体原料；

(b)通过温度约为175-200℃的加热供应管道将所述的流体原料输送到转化部位；

(c)将输送来的所述流体原料转化成掺锗的石英烟尘；

(d)将所述的掺锗石英淀积在淀积表面上；和

(e)将所述淀积的掺锗石英制成光波导预制棒。

2.如权利要求1所述的方法，其特征在于该硅氧烷含有至少95％重量的八甲基环四硅氧烷。

3.如权利要求1所述的方法，其特征在于所述的氯化锗含有至少99％重量的四氯化锗。

4.如权利要求1所述的方法，其特征在于该方法包括将输送来的所述流体原料通过转化部位燃烧器的中心管喷出的步骤，该中心管被氮气内罩、氧气外罩以及氧气与燃料的外气环环绕。

5.如权利要求2所述的方法，其特征在于所述将八甲基环四硅氧烷和氯化锗混合的步骤还包括在把所述的流体原料输送到所述转化部位之前将八甲基环四硅氧烷蒸汽和氯化锗蒸汽混合的步骤。

6.如权利要求5所述的方法，其特征在于所述将八甲基环四硅氧烷蒸汽和氯化锗蒸汽混合的步骤还包括将八甲基环四硅氧烷和氯化锗蒸汽与氮气和氧气混合的步骤。

7.如权利要求1所述的方法，其特征在于该方法包括在所述的原料转化成掺锗石英烟尘之前将所述的流体原料保持在约190-200℃温度的步骤。

8.如权利要求1所述的方法，其特征在于所述将掺锗石英制成光波导预制棒的步骤还包括用石英覆盖在所述的掺锗石英上的步骤。

9.如权利要求8所述的方法，其特征在于所述用石英覆盖在所述的掺锗石英上的步骤还包括提供含有硅氧烷的流体原料、将所述的流体硅氧烷原料输送到转化部位以及将所述输送来的流体硅氧烷原料转化成SiO₂的步骤。

10.一种光波导纤维的制造方法，其特征在于它包括如下步骤：

(a)提供含有八甲基环四硅氧烷和四氯化锗的第一流体原料；

(b)将所述的第一流体原料通过温度约为175-200℃的加热供应导管输送到转化部位；

(c)将输送来的所述第一流体原料转化成掺GeO₂的SiO₂烟尘；

(d)将所述的掺GeO₂的SiO₂烟尘淀积在淀积表面上；

(e)提供含有八甲基环四硅氧烷的第二流体原料；

(f)将所述的第二流体原料通过温度约为175-200℃的加热供应导管输送到转化部位；

(g)将输送来的所述第二流体原料转化成SiO₂烟尘；

(h)将所述的SiO₂烟尘淀积在所述的掺有GeO₂的SiO₂烟尘上；

(i)将所述的淀积的SiO₂烟尘和淀积的掺有GeO₂的SiO₂烟尘制成光波导预制棒；

(j)将所述的光波导预制棒拉制成光纤。

11.一种形成石英的原料流体，其特征在于它含有高纯度的硅氧烷流体和高纯度的氯化锗流体，所述的硅氧烷流体含有至少95％重量的八甲基环四硅氧烷。

12.如权利要求11所述的形成石英的原料流体，其特征在于所述的氯化锗流体含有至少99％重量的四氯化锗。

13.如权利要求11所述的形成石英的原料流体，其特征在于它含有温度保持在175-200℃的八甲基环四硅氧烷和氯化锗的蒸汽混合物。

14.一种形成石英的原料流体，其特征在于它基本上由硅氧烷和氯化锗组成。

15.如权利要求14所述的形成石英的原料流体，其特征在于它基本上由八甲基环四硅氧烷和氯化锗组成。

16.一种光波导石英原料流体，其特征在于它由八甲基环四硅氧烷和氯化锗组成。